판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1226V-DF Quixace #293667381

HITACHI BJ-1206V-DF는 KOKUSAI Electric Incorporated의 확산 로와 관련 액세서리입니다. 확산된 계층이 필요한 연구 개발 (R&D) 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. BJ-1206V-DF는 수직 가열이있는 단일 웨이퍼 퍼로, 듀얼 쿼츠 튜브, 흑연 서셉터 및 히터가있는 공정 챔버로 구성됩니다. 습하거나 건조한 산화, 확산 도핑, 어닐링 및 기타 R&D 응용 프로그램 프로세스를 위해 설계되었습니다. BJ-1206V-DF는 고온 가열 요소를 사용하여 뛰어난 온도 균일성으로 최대 1250 ° C의 온도를 달성합니다. CVD 가스 전달 시스템과 6 인치 공정 챔버가 장착되어 있습니다. +/- 3 ° C 내의 가열 온도의 균일성은 쉽게 달성됩니다. 이 용광로에는 과열 보호 시스템 (over-temperature protection system) 과 효율적인 작동을 보장하면서 과열 예방을위한 가스 분해 시스템 (gas blow-out system) 이 장착되어 있습니다. BJ-1206V-DF는 확산 된 층의 균일성을 향상시키기 위해 가스 흐름 및 조성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 디지털 디스플레이를 통해 손쉽게 작동할 수 있는 사용자 친화적인 터치 패널 PC와 정량적인 프로세스 제어를 위한 프로그래밍 가능한 타이머 (timer) 가 포함되어 있습니다. 또한 히터, 공정 가스, 서셉터 및 냉각 팬의 수동 및 자동 작동을 모두 제공합니다. BJ-1206V-DF는 다양한 프로세스에 대한 여러 프로세스 가스 (예: N2O, Ar 또는 O2) 와 호환되도록 설계되었습니다. 또한 안정적인 작동을위한 거품 형 건조기와 프로세스 온도 및 압력을 모니터링하기위한 QCM (quartz crystal microbalance) 센서가 포함됩니다. 또한, 용광로에는 공정 가스 흐름과 온도, 압력 모니터링을위한 데이터 로거 (data logger) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 HITACHI/KOKUSAI BJ-1206V-DF는 연구 개발 응용 프로그램을위한 신뢰할 수 있고, 고정밀 확산 로와 관련 액세서리입니다. BJ-1206V-DF는 최대 1250 ° C의 온도에서 작동하여 확산 된 레이어 (diffused layer) 처리에 강력한 성능을 제공합니다. 이 시스템의 사용자 친화적 PC 인터페이스와 프로그래밍 가능한 데이터 로거 (logger) 는 정확한 작동 및 정량적 데이터 입수를 가능하게 합니다.