판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377457

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 확산 로입니다. 이는 혁신적인 난방 (heating) 기술과 냉각 (cooling) 기술을 결합한 것으로, 처리 조건에 대한 정확한 제어가 가능합니다. 이 퍼니스는 독특한 고배출 성 서셉터 (high-emissivity susceptor) 와 초전도 연동 서셉터 구조를 가지고 있으며, 이는 동종 열 분포에 대한 뛰어난 열 및 전기 선형성과 균일 성을 제공합니다. 이는 고주파 에너지의 활용도를 극대화하는 최적의 susceptor/refractory 조합을 통해 달성됩니다. 퍼니스는 다양한 프로세스 레시피를 수용하기 위해 여러 운영 모드 (예: EFEM 및 EFEM + LP 모드) 를 통해 뛰어난 유연성을 제공합니다. 정밀하고 통제 된 가스 혼합물을 허용하는 가스 선택 밸브 (valve) 가 장착되어 있습니다. 또한 온도 및 가스 압력 조절을위한 활성 폐쇄 루프가 있습니다. 퍼니스의 프로그래밍 가능한 컨트롤러에는 자동 조정, 자동 청소, 자동 환기, 진공 및 펌프 제어, 타이밍 기능 등 다양한 제어 기능이 있습니다. 또한 컨트롤러는 지능형 진단 기능을 지원하여 자동 조정 및 문제 해결을 용이하게 합니다. 이 기능은 일괄 처리가 필요한 경우에 특히 유용합니다. 확산 용광로는 쉽게 교환 할 수있는 세라믹 프레임으로 유지 보수가 용이합니다. 또한 자체 청소 메커니즘과 통합되어 유지 보수가 용이합니다. 또한, 핫스팟 발생을 최소화하는 독특한 열 침몰 시스템이 있습니다. HITACHI DJ-1223VN에는 특수 센서 및 안전 장치 (예: 가스 누출을 감지하는 압력 센서, 녹는점 모니터링을위한 온도 센서, 비활성 대기 방지를 위한 비활성 가스 누출 탐지기) 가 함께 제공됩니다. 또한 절연 가드 (insulation guard) 가 있으며 전기 충격의 발생을 방지하기 위해 물 플러싱 이중 보호 기능을 자동 중지합니다. KOKUSAI DJ1223VN 확산 로도 뛰어난 재생산 및 신뢰성을 제공합니다. 동작 중 소음 간섭을 방지하기 위해 고급 고조파 보상 (Advanced Harmonic Compensation) 이 특징이며, 동작 영역의 열 구배에서 균일성을 보장하는 크로스 컨디셔닝 기술을 사용합니다. 또한 압력 제어 시스템 (pressure control system) 과 빠른 밀봉 시스템 (quick-sealing system) 을 사용하여 프로세스가 완료 될 때까지 압축기가 작동 상태를 유지할 수 있습니다. 그것을 요약하기 위해, DJ1223VN은 뛰어난 열 제어, 균일성 및 신뢰성을 제공하는 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 또한 프로세싱 조건에 대한 정확한 제어와 더불어 탁월한 안전 (safety) 기능을 제공하여 반도체 장치 제작에 이상적인 선택입니다.