판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377454

HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN
ID: 9377454
웨이퍼 크기: 12"
Diffusion furnace, 12" Type: SiN.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN은 광학 박막의 빠른 열 확산 및 빠른 열 처리를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 키트입니다. 이 장비는 매우 정확하고 효율적인 확산 및 빠른 열 처리 (thermal process) 를 제공하고 다양한 재료와 구조를 지원하도록 설계되었습니다. HITACHI DJ-1223VN 확산 로는 독립적인 온도 조절이 가능한 스테이징 존 (staging zone), 확산 존 (diffusion zone) 및 냉각 존 (cooling zone) 으로 구성된 3 구역 설계를 특징으로합니다. 용광로는 최대 1500 ° C까지 가열할 수 있으며, 성능 및 정밀도를 최적화하기 위해 적외선 방출 히터가 장착되어 있습니다. 경사 석영 튜브 (sloping quartz tube) 는 챔버 전체에 걸쳐 효율적이고 균일 한 열 분배를 가능하게하며, 열 특성은 각 확산 배치의 균일 한 온도 및 반복 성을 보장합니다. 용광로에는 정밀한 온도 측정이 가능한 피로미터 (pyrometer) 디자인이 장착되어 있으며, 정확도는 ± 1 ° C입니다. 또한 디지털 프로그래밍 시스템을 갖추고 있어 어닐링 (Annealing), 산화 (Oxidation), 질화 (Nitridation) 등 다양한 확산 및 빠른 열 과정을 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 이 퍼니스는 수동 조작없이 자동 도어 (automated door) 설계를 통해 편리하고 안전한 작업 및 유지 보수가 가능합니다. KOKUSAI DJ1223VN 확산 용광로 및 액세서리 키트에는 광학 모니터 및 CoolFlood 플라즈마 소스와 같은 다양한 현장 도량형 도구가 제공됩니다. 광학 모니터는 반사율, 투과율 및 FTM (Film Thickness Measurement) 을 포함한 다양한 매개변수를 측정합니다. CoolFlood 플라즈마 소스는 빠른 열 처리 및 확산이 진행되는 동안 필름 제어를 지원합니다. 마지막으로, HITACHI/KOKUSAI DJ1223VN 확산 로와 액세서리 키트에는 통합 건조 진공 장치 (dry vacuum unit) 와 강력한 열 절연이 포함되어 반복 가능하고 안정적인 열 프로세스를 지원합니다. 또한, 이 기계는 CE 규정 표준에 대한 인증을 받았으며, 뛰어난 품질 및 안전성을 보장합니다. 간단히 말해서, HITACHI DJ1223VN 확산 로와 액세서리 키트는 광학 박막 응용프로그램을 위한 빠른 열 확산 및 빠른 열 처리 (thermal process) 를 위한 이상적인 도구로서, 사용자 정의 가능한 설정과 안정적인 성능을 갖춘 고정밀 결과를 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다