판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9285053
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HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN은 미세 구성 어플리케이션을 위한 최고의 열 기능 및 유연성을 제공하는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 고성능 열 프로세스와 고급 용광로 (furnace) 구성을 결합하여 다양한 제품을 생산합니다. 진공실, 진공 내성 부품 및 완전한 액세서리 선택을 통해 광범위한 CVD (확산 어닐링) 및 CVD (chemical vapor deposition) 기능을 제공합니다. 퍼니스에는 고온, 저손실 세라믹 방사선 실드 (shield) 와 다양한 확산 및 CVD 시스템 구성을 만들 수있는 유연성을 제공하는 통합 가스 매니 폴드 (gas manifold) 가 장착되어 있습니다. 온도 범위는 50 ° C ~ 500 ° C이며 정확도가 높은 3 구역 PID 컨트롤러로 정확한 온도 조절 범위가 있습니다. Triple Zone PID 컨트롤을 사용하면 각 Zone 을 정확하고 독립적으로 제어할 수 있습니다. 용광로에는 샘플의 빠른 로드 및 언로드가 가능한 통합 도가니 시스템 (crucible system) 이 있습니다. 방은 닫힌 대기에서 비활성 가스를 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 균일 한 대기를 유지하고 가스 흐름과 확산 시간을 정확하게 제어하기 위해 고급 듀얼 가스 밴드 히터 (Advanced Dual-Gas Band Heater) 가 장착되어 있습니다. 퍼니스에는 가변 확산 시간 (variable diffusion time) 과 가스 유출 제어 (gas outflow control) 가 가능한 여러 콘센트가있는 인덱스 가스 흐름 시스템도 있습니다. HITACHI DJ-1223VN은 다양한 액세서리를 수용하도록 설계되었습니다. 보호 석영 튜브, 코팅 된 섬유 담요, 샘플 랙 및 세라믹 디퓨저가 제공됩니다. 또한 휴대용 컨트롤러, 콘솔, 용광로 대기 제어를위한 가스 실린더가 포함되어 있습니다. 확산 용광로는 반도체, 광학 및 의료 기기 산업에서 사용하기에 적합합니다. KOKUSAI DJ1223VN은 많은 microfabrication 응용 프로그램에서 사용할 수있는 다목적 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. 열처리, 다양한 온도 범위, 뛰어난 품질의 열 (thermal) 기능을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 다양한 액세서리 (액세서리) 를 사용하여 어플리케이션의 요구에 따라 퍼니스를 사용자 정의할 수 있습니다.
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