판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9285049

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN은 정확한 온도 조절, 높은 균일성 및 뛰어난 산화 저항을 제공하도록 설계된 확산 로입니다. 이것은 반도체, optoelectronics, silicon wafer production 및 기타 고급 장치 처리와 같은 고정밀 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 용광로의 온도 범위는 20 ° C - 1200 ° C이며 전력 등급은 12kw입니다. 할로겐 가열/IR 가열 하이브리드 가열 장비로 백업 된 고정밀 균일성을 위해 빠른 냉각 질소 환경을 사용합니다. 용광로에는 비정질 재료 뒷면 냉각 시스템도 제공됩니다. 이것은 용광로 대기에서 우수한 온도 균일성을 보장하며, 최대 온도 조절을 가능하게합니다. 확산 퍼니스에는 48 인치 (1200mm) 스테인리스 스틸 작업 챔버가 제공되어 2 개의 반대 포트와 3 개의 공정 가스 공급 옵션이 제공됩니다. 또한 용광로는 최대 30 개의 부서로 구성된 전원 제어 장치를 제공합니다. 즉, 1 ~ 1000 ° C의 범위 내에서 작동 할 수 있습니다. 난방 (heating) 과 냉각 (cooling) 에 대한 조정 가능한 응답 시간은 3 분에서 15 분으로 설정하여 온도를 동일한 수준으로 정확하게 유지할 수 있습니다. 용광로에는 PT-100 온도 센서가 장착되어 있으며, 저온과 고온 모두에 대해 효율적이고 정확한 온도 컨트롤 l (contro l) 이 가능합니다. 또한 배기 및 게이지 시스템, 3 단계 워터 필터, 활성 보호 필터 및 청소/퍼징 머신, 압력 타이트 하우징 (pressure tight housing) 과 같은 다양한 추가 액세서리 리를 제공합니다. HITACHI DJ-1223VN 확산은 반도체, 광전자, 실리콘 웨이퍼 생산 및 기타 고급 장치 처리에 사용되는 샘플 재료의 온도를 정확하고 정확하게 제어하기 위해 이상적인 선택입니다. 신빙성 있는 용광로 (furnace) 로, 안전하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공하는 데 의존할 수 있습니다.