판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223 #293636498

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223은 탁월한 신뢰성과 성능을 제공하기 위해 개발 된 확산 로입니다. 이 라인퍼니스의 상단에는 석영 부품이 장착 된 스테인레스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 와 대형 듀티 전기 장비 (Heavy Duty Electrical Equipment) 가 있습니다. 용광로에는 최대 1250C의 온도가 가능한 단일 확산 존 (diffusion zone) 과 정확한 온도 조절을위한 피로미터 (pyrometer) 가 장착되어 있습니다. 공정 "가스 '-" 아르곤', 질소 및 수소 - 는 재순환 하는 "가스 '장치 로부터 공급 되어" 가스' 소비 를 효과적 으로 감소 시킨다. 용광로 내부 는 "가스 '를 청소" 가스' 로 사용 하는 역 "가스 '흐름 장치 를 통해 청소 된다. HITACHI DJ-1223 의 확산 영역 (diffusion zone) 은 웨이퍼를 따라 연결하기 위해 균일 한 온도를 생성하도록 설계되었습니다. 이 영역은 4 개의 열 영역으로 나뉘며 흑연 (graphite) 요소에 의해 작동하는 내부 히터 메커니즘을 사용합니다. 흑연 요소는 교류 발전기 (alternating current generator) 를 통해 활성화되며, 이로 인해 오염을 줄이고 가중치 전원으로 인한 호를 제거합니다. KOKUSAI DJ-1223은 또한 고속 선형 로봇과 웨이퍼 로드/언로드를위한 3 개의 로드 포트를 갖추고 있습니다. 로봇은 처리율이 높아 주기 (cycle) 시간을 크게 줄일 수 있습니다. "가스 '유동 기계 는 공정 환경 으로부터 완전 히 분리 되어" 챔버' 청결 의 질 을 유지 한다. 용광로 캐비닛은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 높은 내식성과 강도를 제공합니다. 방열 손실을 최소화하기 위해 방에 방사선 방패가 포함되어 있습니다. 또한, DJ-1223은 플랫 엔드 쿼츠 튜브 (flat-end quartz tube) 를 특징으로하여 챔버 전체에 균일 한 열 분배가 가능합니다. 품질 성능을 유지하기 위해 HITACHI/KOKUSAI DJ-1223은 유지 보수 및 보정이 자주 필요합니다. 여기에는 모든 "가스 '및 공정 부품의 규칙적인 교체, 확산 챔버 및 피로미터 청소 및 조정 등이 포함됩니다. 그 에 더하여, 모든 운전자 들 은 적당 한 안전 절차 에 따라 훈련 을 받아야 하는데, 많은 용광로 성분 들 은 유리 와 기타 연약 한 재료 로 만들어지기 때문 이다. 그렇다. 최상의 품질의 구성 요소와 안정적인 프로세스 성능을 제공하는 HITACHI DJ-1223은 다양한 고급 태양전지, 박막, IC 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 또한 다양한 확산 로 (diffusion furnace) 애플리케이션에 적합하므로 모든 실험실 (lab) 또는 제조 설비 (fabrication facility) 에 귀중한 기능을 추가할 수 있습니다.