판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1207S #293672670
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HITACHI/KOKUSAI DJ-1207S 확산 로는 반도체 제조의 확산 과정을 촉진하기 위해 설계된 최첨단 장비입니다. 이 용광로는 부속 액세서리와 함께, 재질의 정확하고 균일한 도핑 (doping) 을 보장함으로써 고품질 반도체 소자를 만드는 데 중요한 역할을합니다. HITACHI DJ-1207S 의 주요 설계 기능은 고온 기능으로, 효율적이고 통제된 확산 프로세스를 지원합니다. 용광로에는 최대 1200 도의 온도에 도달 할 수있는 여러 가열 구역과 고품질 가열 요소가 장착되어 있습니다 (영문). 이 높은 수준의 온도 조절은 반도체 재료에서 원하는 도펀트 프로파일 (dopant profile) 을 달성하는 데 필수적입니다. KOKUSAI DJ-1207S 확산 로는 공정 챔버에 도펀트 가스를 도입 할 수있는 강력한 가스 전달 장비를 갖추고 있습니다. 이 "시스템 '은 도펀트" 가스' 를 챔버 '전체 에 균일 하게 분산 시켜서 반도체 물질 을 균일 하게 도핑 한다. 또한, 용광로에는 확산이 효율적으로 일어나기위한 이상적인 프로세스 조건을 유지하는 고급 압력 제어 (Advanced Pressure Control) 메커니즘이 장착되어 있습니다. 확산 과정의 성능을 더욱 향상시키기 위해, DJ-1207S에는 정확한 온도 조절 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 연산자가 확산 프로세스 전반에 걸쳐 원하는 온도 프로파일 (temperature profile) 을 설정하고 유지 관리할 수 있도록 하여 일관되고 재현 가능한 결과를 보장합니다. 퍼니스는 또한 프로그램 가능한 레시피 매니저 (Recipe Manager) 를 갖추고 있으며, 사용자 개입을 최소화하면서 복잡한 확산 프로세스를 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. HITACHI/KOKUSAI DJ-1207S 는 고급 확산 기능 외에도 다양한 액세서리 (accessory) 를 제공하여 기능 및 사용 편의성을 향상시킵니다. 이 액세서리에는 반도체 웨이퍼를 적재 및 언로드하기위한 특수 설계 된 보트 로더 (boat loader) 와 공정 챔버의 깨끗함을 보장하는 쿼츠 튜브 클리닝 도구 (quartz tube cleaning tool) 가 포함됩니다. 또한 로에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 있어 운영자가 확산 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 전반적으로 HITACHI DJ-1207S 확산 로는 반도체 제조업체가 재료를 정확하고 균일하게 도핑하려는 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고온 기능, 고급 가스 배달 자산, 정밀한 온도 조절, 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 고성능 반도체 장치 제작에는 없어서는 안 될 장비가 될 것입니다. 코쿠사이 (KOKUSAI) DJ-1207S 는 탁월한 성능과 사용자 친화적인 설계로, 최첨단 제품을 시장에 출시하려는 모든 반도체 제조 시설에 귀중한 자산입니다.
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