판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9377460

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN은 반도체 웨이퍼의 빠른 열 처리를 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 열 산화 (thermal oxidation), 확산 (diffusion), 질화 (nitridation) 및 서브미크론 정확성과 반복성이 필요한 기타 까다로운 응용 프로그램과 같은 프로세스에 이상적인 도구입니다. 이 퍼니스는 전체 소프트웨어 제어 (software-controlled) 작동을 특징으로하여 웨이퍼의 효율적이고 등각 가열이 가능합니다. 이 퍼니스는 일관된 확산 및 기타 열 공정이 필요한 제조 라인 (fabrication line) 에 사용하도록 설계되었습니다. 여기에는 4 개의 웨이퍼 (200mm/8 ") 배치를 수용 할 수있는 수직 프로파일 구성이 있습니다. 용광로는 또한 3 개의 75mm (3 인치) 웨이퍼와 단일 100mm (4 인치) 웨이퍼를 수용 할 수 있으므로 작고 큰 웨이퍼 처리에 적합합니다. 용광로에는 2 개의 열전 컨트롤러와 프로그래밍 가능한 온도 조절 장비로 구성된 독특한 확산 설정 (diffusion setup) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 난방 및 냉각 주기를 엄격하게 제어하여 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. HITACHI DJ-1206VN의 온도 범위는 300 ° C ~ 1300 ° C입니다. KOKUSAI DJ1206VN은 또한 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System) 을 갖추고 있으며, 사용자는 위험 상태로부터 운영자 안전 및 환경 보호를 제공합니다. 이 보호 장치는 장치 설계에 내장되어 있으며, 웨이퍼가 5 분 이상 900 ° C 이상의 온도에 남아 있을 때 잠금 작동 기계 (lockout operation machine) 를 포함합니다. 퍼니스는 또한 8 가지 유형의 프로그래밍 가능한 산화/질화/확산/확산/어닐링 프로세스를 제공하며, 이는 사용자에게 가장 어려운 열 과정을 수행 할 수있는 유연성을 제공합니다. 또한 각 프로세스에 대해 4 가지 프로그래밍 가능한 시간 단계를 제공합니다. 정교한 제어 도구는 항상 공정 온도를 단단히 제어하고 열 폭주 (thermal runaway) 와 과열 (over-temperature) 을 방지합니다. 또한 DJ-1206VN 은 타이머 (timer) 및 데이터 통신 (data communication) 기능을 제공하므로 각 프로세스의 온도와 시간을 모니터링하고 기록할 수 있는 기능을 제공하여 쉽게 결과를 평가할 수 있습니다. 요약하자면, KOKUSAI DJ-1206VN은 확산 로와 액세서리이며, 반도체 웨이퍼의 빠른 열 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 열 산화 (thermal oxidation), 확산 (diffusion), 질화 (nitridation) 및 서브미크론 정확성과 반복성이 필요한 기타 까다로운 응용 프로그램과 같은 프로세스에 이상적입니다. HITACHI DJ1206VN은 수직 프로파일 구성, 2 개의 열전 컨트롤러, 프로그래밍 가능한 온도 조절 자산, 고급 안전 모델, 8 가지 유형의 프로그래밍 가능한 프로세스, 4 가지 프로그래밍 가능한 시간 단계, 타이머 및 데이터 통신 기능을 갖추고 있으며 사용자가 웨이퍼를 효과적이고 정확하게 열 처리 할 수 있습니다.