판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9311080

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN은 다양한 반도체 처리 응용 프로그램에서 사용할 수있는 다재다능한 최첨단 확산 용광로 장비입니다. 400 ~ 1000 '의 웨이퍼를 처리 할 수있는 저온 진공 확산 로가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 확산 및 산화 온도의 램프 업 (ram-up) 및 램프 다운 (ram-down) 을 위해 고정밀도, 효율성 및 비용 효율적인 처리를 제공합니다. HITACHI DJ-1206VN (HITACHI DJ-1206VN) 장치는 열 교란 단계가 낮은 고가속 속도를 특징으로하여 광범위한 온도에서 웨이퍼를 빠르게 확산시키고 산화시킵니다. 이 기계는 또한 유속, 대기 가스 구성 및 미세 흐름 제어 기술로 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 선택적 처리를 허용하고 확산 프로세스의 속도와 효율성을 높일 수 있습니다. 이 도구는 용광로 (furnace) 외에도 가장 높은 수준의 안전성과 정확성을 보장하도록 설계된 다양한 액세서리 (accessory) 를 제공합니다. 여기에는 정확하고 일관된 운영을 보장하는 다양한 피드 스루 (feed-throughs) 및 제어 시스템이 포함됩니다. 이 자산에는 열전 피로미터, 스테인리스 스틸 고 진공 용기 및 직관적 인 난방 제어를 갖춘 고정밀 온도 제어가 포함되어 있습니다. KOKUSAI DJ1206VN 모델은 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 설계되었으며, 모든 장비 컨트롤에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 따라서 사용자는 작업 중에 시스템을 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 자세한 프로세스 정보를 표시하므로 장치를 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 용광로 온도가 세트 한계를 초과하는 경우 냉각 도구 차단 (cooling tool shoff) 및 차단 가스 (shut-off combustible gas) 와 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로, KOKUSAI DJ-1206VN은 강력하고 신뢰할 수있는 확산 용광로 자산으로, 광범위한 온도 조절을 통해 일관되고 정확한 출력을 제공합니다. 이 모델은 가속 속도가 높고 열 교란 단계가 낮아 웨이퍼의 효율적이고 비용 효율적인 확산, 산화에 이상적입니다. 액세서리 패키지는 정확하고 일관되게 작동할 수 있도록 다양한 추가 기능을 제공합니다 (영문). 결론적으로, DJ-1206VN은 빠르고, 안전하며, 효과적인 확산 및 산화 과정을 위해 훌륭한 선택입니다.