판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400343
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ID: 9400343
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: Nitride
Wafer transfer handling system
(2) FOUPs
507 BW Mat scrubber
EST300WN Pump
2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM은 재료의 정확하고 효율적이며 대용량 열 처리를 위해 설계된 강력한 확산 로입니다. 이 장치는 가스 분포 (gas distribution) 와 저분해 (degradation) 로 정밀한 온도 조절이 결합 된 대형 챔버를 특징으로하며, 균일하고 반복 가능한 재료 동작을 허용합니다. HITACHI DJ-1206VN-DM 모듈식 설계를 통해 챔버 크기 및 제어 기능의 유연성을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치에 사용 가능한 사용자 정의 옵션에는 최대 측정 값이 8m인 최대 3 개의 신호 깊이 센서, 온도 조절 강화를위한 QFID (Quartz Fiber Furnace Furnace) 및 지속적인 정밀 가스 흐름을위한 산소 출혈 펌프가 포함됩니다. 자동 로드 (automatic loading) 및 언로드 (unloading) 시스템은 효율적이고 적시에 재료를 처리하여 처리량을 극대화하고 주기 시간을 단축합니다. 또한, 확산은 재료의 안전한 운영을 보장하기 위해 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 센서 인터 록 (interlock) 을 갖춘 통합 대폭발 설계 (explosion-proof design) 과 추가 보호를 위해 닫고 잠글 수있는 슬라이드 가능한 상위 뚜껑이 포함됩니다. 이러한 통합된 안전 측정 (Safety Measure) 을 통해 사용자는 안전한 생산 환경을 보장하고 잠재적인 위험을 최소화할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-1206VN-DM 확산 퍼니스는 또한 뛰어난 균일성, 반복성 및 재료의 분해없는 처리를 위해 뛰어난 열 성능을 제공합니다. 이 장치는 최대 1,000 ° C의 온도를 처리하여 손쉬운 처리 및 반복성 (repeatability of processing) 을 제공하며, 모듈식 설계를 통해 필요에 따라 손쉽게 사용자 정의하고 개선할 수 있습니다. DJ-1206VN-DM 확산 로는 대량의 재료 열 처리에 이상적인 선택입니다. 특화된 기능, 견고한 설계, 뛰어난 열성능 (thermal performance) 의 조합으로, 재료의 최소한의 분해로 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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