판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400342

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM은 주로 반도체 산업에서 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 장치입니다. 고진공 및 저진공로를 결합하여 산화, 증착, 질화, 게터링과 같은 제조 공정에 대한 단일 솔루션을 제공합니다. 크기가 다를 수있는 다른 확산 용광로와 달리, 이 모델은 대략 600mm (w) x 600mm (d) x 600mm (h) 의 중간 크기의 확산 용광로입니다. 용광로는 특정 프로세스에 대한 온도 모니터링 및 제어를 위해 석영 결정을 사용합니다. 용광로의 내부 챔버는 타입 Q 쿼츠 (Type Q quartz) 로 만들어져 공정 동안 뛰어난 열 전도성 및 온도 일관성을 제공합니다. 효율성 및 최대 온도 균일성을 높이기 위해 게터링 니켈 재료가 늘어서 있습니다. 이 장치는 또한 우수한 산화, 증착, 질화 및 게터링 성능을 위해 다중 영역 온도 제어를 자랑합니다. 이 로 말미암아 여러 면적 의 "챔버 '를 다른 온도 에서 가열 시킬 수 있게 되어" 챔버' 를 가로질러 온대 를 균일 하게 제어 할 수 있다. HITACHI DJ-1206VN-DM은 질소 또는 아르곤 가스를 사용하는 대기 제어 장비를 제공합니다. 이 시스템은 가스의 균일 한 혼합과 잠재적 인 오염 방지를 지원합니다. 이 장치에는 압력 및 온도 모니터링 장치, 비상 인터 록 (Emergency Interlock) 및 저전압 경보 (Low-Voltage Alarm) 와 같은 여러 안전 기능도 포함됩니다. 또한 고온 안전 제한, 후압 제어 기계, 인터 락 프리 밸브, 비상 환기 도구 및 열 절연 모니터링 자산의 자동 재설정 (auto-resetting) 도 포함됩니다. KOKUSAI DJ-1206VN-DM 확산 로는 확산 프로세스의 뛰어난 성능과 정확성을 위해 설계되었습니다. 반도체 업계를 위한 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다. 종합적인 안전성 (Safety Features) 과 다목적 대기 제어 (Atmoshere Control) 를 결합한 견고한 구조로 인해 모든 확산 기반 응용 분야에 적합한 선택이 가능합니다.