판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358305

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM 확산 로는 소규모 반도체 및 전자 부품 프로세싱의 대량 생산을 위해 설계된 사용자 친화적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 균일하고 일관된 온도 설정을 통해 정확하고 고품질의 결과를 얻을 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 효율적인 운영을 약속합니다. 확산 용광로는 강철의 외부 프레임과 열분해 흑연 인테리어로 구성됩니다. 내부 공기 재킷과 외부 알루미늄 공기 열 절연이있는 2 층 절연이 특징입니다. 고급 온도 제어 메커니즘은 특별히 설계된 가이드 베인 (guide vane) 과 온도 균일성 및 챔버 전체의 정확성을 위해 열 절연 플레이트 (thermal insulation plate) 에 의존합니다. 용광로는 인터 레이어 연결, 후면 코팅 및 레이저 리플로우와 같은 작업을 위해 7 개의 스테이션 오프닝이있는 12.6 x 12.6cm 처리 영역을 제공합니다. 대면적 susceptor는 polysilicon carbide heating 기술을 사용하여 열 산화 중에 균일 한 열을 생성합니다. 조절 가능한 히터 다운 시간 기능은 온도 전이 속도를 제어하여 처리량을 증가시킵니다. 확산 로에는 챔버 내부의 압력을 정확하게 측정하기 위해 쿼츠 유도 압력 센서 (quartz induction pressure sensor) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템을 사용하면 작업 중에 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. PID 온도 조절 메커니즘은 온도 안정성과 정확성을 더욱 향상시키는 반면, 깨끗한 배기 시스템 (clean exhaust system) 은 배기 가스 준수를 보장합니다. 첨단 난방 기능 이외에도, 확산 로에는 다양한 "액세서리 '가 장착될 수 있다. 여기에는 단일 웨이퍼 로딩 암, 온도 센서, 가스 입구 및 제품 확인 램프가 포함됩니다. 비용 절감과 효율성 향상을 위해 설계된 HITACHI DJ-1206VN-DM 확산 로는 많은 업계에 이상적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있고 직관적인 구성을 통해 일관성 있고 품질이 좋은 결과를 얻을 수 있습니다.