판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358282

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM은 공정 개발 및 광전자 부품, 반도체 장치 및 서브미크론 기능 크기의 재료를 제조하기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 고효율, 고속 가열 장비는 열적 그라디언트, 실리콘의 저항성 및 기타 매개변수를 제거하는 데 도움이됩니다. HITACHI DJ-1206VN-DM은 수직 형 확산 로로, 고 갈륨 (GaCl) 가스를 사용하는 고온 고압 (450 Torr) 대기를 제공합니다. 최대 1300 ° C의 최대 안정성 온도를 제공하며 베이킹 사이클 시간은 30 분입니다. 또한 증착, 확산, 드라이브 인 (drive-in) 과 같은 광범위한 프로세스에 대해 정확한 온도 제어를 제공합니다. KOKUSAI DJ-1206VN-DM은 고출력 및 저비용 작동을 위해 설계되었습니다. 첨단 발열 절연 장치 및 냉기 도가니 (cold crucible construction) 는 가스 소비를 줄이고 난방 구역 내 온도 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. 그 결과 최적의 효율성과 저렴한 단위당 생산이 가능합니다. 온보드 터치스크린 패널은 사용자 친화적이며, 사용 편의성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 프로세스 메모리, 레시피 관리, 온도 기록, 빠른 작업 메뉴 등의 기능을 제공합니다. 또한 프로세스 매개 변수에 대한 원격 또는 로컬 모니터링 (local monitoring of process parameters) 도 선택할 수 있습니다. DJ-1206VN-DM 의 모듈식 설계를 통해 다양한 고정장치, 액세서리, 데이터 로깅, 컴퓨터 제어 인터페이스가 제공됩니다. 챔버 부품은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 최대 제품 수율을 위해 설계되었습니다. 다양한 프로세스 및 생산 요구를 수용하기 위해 다양한 펌프 (옵션) 와 가스 라인 (gas line) 을 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 프로세스 가스 냉각을위한 질소 주입 벤트 머신 (nitrogen injection vent machine) 과 자동 가스 퍼지 사이클 (gas purge cycle) 및 저유지 필터 (low-maintenance filter) 가 포함되어 있습니다. 이러한 기능은 최대 안전 수준과 운영 다용성을 보장합니다. 고성능 HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM 확산 로는 최적의 제품 수율, 낮은 운영 비용 및 최대 안전성을 제공하도록 설계되었습니다. 뛰어난 온도 조절 (Exceptional Temperature Control), 가열 영역의 균일성 (Unifority of heating zone) 및 견고한 단열재 (Strust Insulation) 와 같은 고급 기능은 최적의 프로세스 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 물리적 증기 증착, 고온 확산 및 기타 처리 요구에 적합한 비용 효율적인 솔루션입니다.