판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9355659
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ID: 9355659
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: LPCVD Nitride
CIM: SECS
Wafer transfer handling system
FOUP Interface
EBARA EST300WN
MAT 507BW Scrubber
2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM은 제조업체가 고품질 구조와 구성 요소를 만드는 데 사용하는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 최첨단 확산 로는 진공 타이트한 고압 밀봉 챔버와 구성 요소 삽입을위한 30 인치 작업 영역을 갖추고 있습니다. 강철 프레임 장비는 본체, 메인 도어, 측면 도어 및 상단 도어의 4 가지 부분으로 구성됩니다. 본체는 1500W 카세트 히터에 의해 최대 1000 ° C의 온도를 견딜 수 있습니다. 확산 과정 은 조종 된 대기 의 형성 으로 시작 되는데, 이 대기 는 "가스 '나 증기 를 약실 에 도입 하여 생성 한다. 일단 원하는 분위기 가 달성 되면, 기판 을 "챔버 '에 넣는다. 그 다음 에 "챔버 '는 원하는 온도 로 가열 되고," 챔버' 가 식으면서 "가스 '/증기 와 기질 사이 의 화학 반응 이 일어나 원하는 구조 혹은 성분 이 형성 된다. HITACHI DJ-1206VN-DM 에는 확산 프로세스를 보다 효율적이고 안정적으로 만드는 데 필요한 몇 가지 중요한 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 챔버의 냉각 속도를 높이도록 설계된 강제 공기 냉각 시스템 (forced-air cooling system) 이 포함됩니다. 이 장치는 또한 기계식 연동 장치 (mechanical interlock) 를 사용하여 메인 도어의 개구부를 2mm 미만으로 제한하여 열 손실을 줄이고 유해 물질에 대한 운영자 노출을 최소화합니다. KOKUSAI DJ-1206VN-DM에는 가연성 가스 농도를 제한하도록 설계된 격리 된 가스공급기 (isolated, heated gas supply machine) 를 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 용광로 에는 열 소산 도구 가 장착 되어 있는데, 이 도구 는 노출 된 물질 을 신속 히 식혀서, 인화성 과 폭발성 의 위험 을 감소 시킬 수 있도록 설계 되었다. 그렇다. 이 외에도 DJ-1206VN-DM에는 사용자 친화적 인 제어 자산이 있어 운영자가 시각적 디스플레이 (visual display) 를 사용하여 프로세스를 모니터링 할 수 있습니다. 이 모델을 통해 운영자는 가스를 자동으로 전환하여 확산 프로세스 (diffusion process) 의 유연성을 높일 수 있습니다. HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM은 최첨단 확산 로와 액세서리로, 안전, 효율성 및 확산 프로세스의 품질을 향상시키기 위해 설계된 기능으로 구성되어 있습니다. 최적 확산 프로세스 (Optimal Diffusion Process) 를 위해 필요한 모든 구성 요소를 사용자에게 제공하므로, 안정적이고 효율적인 장비를 찾는 제조업체에게 적합한 선택입니다.
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