판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377430

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF
ID: 9377430
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
PECVD Systems, 12" Type: TiN 2011 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DF는 고급 장비 기능 및 액세서리를 갖춘 고급 확산 로입니다. 이 확산 용광로는 균일 한 온도, 높은 정확도, 내구성이 필요한 제조 및 연구 응용에 적합합니다. 로드 용량이 최대 120kg (샘플 부하) 인 대형 작업 챔버 (240 x 400mm) 가 특징입니다. 이 시스템에는 정밀 온도 조절을위한 미세 난방 장치 (Fine Heating Unit) 를 포함하여 많은 고급 기능이 있습니다. 이 기계는 우수한 난방 성능을 위해 세라믹 절연 재료와 니켈-크롬 합금 히터를 사용합니다. 또한 온보드 LED가 장착 된 비디오 모니터링 도구와 프로세스 실시간 모니터링을위한 카메라 4 대가 포함되어 있습니다. 이 용광로는 2 개의 독립적 인 저항 난방 시스템 (Resistive Heating System) 을 갖추고 있어 공정에 대한 고정밀 제어가 가능합니다. 최고 난방 자산은 제어 난방 속도와 최대 1200 '의 고온을 가진 프로그래밍 가능한 모델입니다. 또한 빠르고 쉬운 프로세스 제어를 위해 10 단계 프로그래밍 가능한 램프 속도를 갖습니다. 하단 난방 장비는 열 절연 진공을 사용하는 열 교환 시스템으로, 0 '에서 최대 1200' 까지 쉽게 변합니다. 액세서리에는 2 개의 펌프, 기계식 진공 펌프 및 효율적이고 깨끗한 처리 및 캐리어 가스의 최대 추출을위한 터보 펌프 (turbo-pump) 가 포함됩니다. 또한 가스 흐름을 줄이고 펌프의 수명을 연장하는 진공 퍼지 (vacuum purge) 시설을 갖추고 있습니다. 안전 기능에는 온도, 전원 공급 장치, 가스 공급 장치 등 다양한 매개변수의 오류를 감지하고 진단하는 자체 진단 (self-diagnostics) 이 포함됩니다. 또한 프로그래밍 조건에 대한 여러 안전 경보 (Safety Alarm) 와 최대 한계를 초과하면 전원 공급 장치를 자동으로 분리하는 회로 차단기 (Circuit Breaker) 가 있습니다. 간단히 말해, HITACHI DJ-1206VN-DF는 강력하고 고급 장치 기능과 액세서리를 갖춘 고급, 고급 확산 로입니다. 이 전문가 등급의 퍼니스는 제조 및 연구 응용에 적합하며, 정확한 온도 조절 및 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 안전 기능 및 액세서리를 갖춘 이 확산 용광로는 내구성과 문제 없는 작동을 보장합니다.
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