판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377286

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DF는 반도체, 전자 및 광자 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 확산로 및 액세서리 장비입니다. 용광로 (furnace) 는 다양한 응용 프로그램에 이상적인 독특한 기능을 자랑합니다. 용광로 시스템은 진공 어닐링, 빠른 열 처리, 시트 저항 제어, 매우 빠른 스위칭 전기 저항 난방 장치, 다양한 액세서리 등 최신 확산 기술을 갖추고 있습니다. 이 용광로 (furnace) 는 또한 다양한 웨이퍼 크기에 적응하여 유연성을 제공합니다. 특별한 요구 사항에 맞게 사용자 정의 디자인 된 웨이퍼 (wafer) 와 콜드 플레이트 (cold plate) 를 사용할 수 있습니다. 열 조절 장치 (thermal control mechanism), 확산 로 (diffusion furnace) 및 액세서리 (accessory) 를 포함한 기계의 핵심 구성 요소는 모두 가장 엄격한 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 용광로는 -200에서 + 1300C 사이의 넓은 온도 범위를 가지며, 반복성이 우수하고 가스가 적습니다. 확산 퍼니스는 또한 난방 속도 (heating rate), 비누기 시간 (soak time), 드웰 시간 (Dwell time) 과 같은 다양한 설정으로 정밀 열 제어를 제공합니다. 이 도구에는 또한 많은 액세서리 (accessory) 가 포함되어 있어 자산을 더욱 강력합니다. 예를 들어, 액세서리에는 자동 웨이퍼 로드/언로드, 로봇 동작 제어 시스템 및 작업을 쉽게 할 수있는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 허용하는 두 개의 로봇 웨이퍼 핸들러 (Waferhandler) 가 있습니다. 또한, 액세서리는 Tele-Service 기능을 제공하여 주요 Furnace 기능에 원격으로 액세스 할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델에는 맞춤형 보호 시스템 (웨이퍼 오염 방지) 이 장착될 수 있습니다. 이러한 시스템에는 비활성 가스 공급 장비, 화학 증기 예금 시스템, 진공 장치 및 현장 청소기가 포함됩니다. 이러한 고급 보호 시스템은 최고의 와퍼 (wafer) 생산 품질을 보장하며 다운타임을 최소한으로 유지할 수 있습니다. 요약하자면, HITACHI DJ-1206VN-DF는 뛰어난 유연성과 다양한 액세서리를 제공하는 고급 확산 용광로 도구입니다. 매우 다양한 어플리케이션에 적합하며, 조절 가능한 온도 범위 (temperature range) 와 빠른 스위칭 전기 저항 열 자산 (switching electric resistance heat asset) 은 빠르고 정밀한 열 제어 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 오염 및 다운타임으로부터 보호하여 웨이퍼 (wafer) 생산을 최고의 품질로 유지합니다.