판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V #9377252

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V는 반도체 장치 제조에 사용되는 다양한 열 공정을 수행하도록 설계된 확산 로입니다. 방사선을 사용하여 샘플을 최대 1400 ° C의 온도로 가열하는 빠른 열 처리 도구입니다. 온도 균일성은 여러 석영 복사 램프로 챔버 전체에서 유지됩니다. 또한, 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 세라믹 헬륨 가스 분배 판이 장착되어 있습니다. 이것은 프림 가스의 균등한 분포와 일관된 가열을 보장합니다. HITACHI DJ-1206V 의 다양한 기능을 통해 사용자에게 이상적인 선택이 가능합니다. 자동 클리닝 메커니즘을 사용하면 프로세스 전반에 걸쳐 내부 서피스를 효율적으로 정리할 수 있습니다. 또한 챔버에서 공기 누수를 자동으로 감지하고 표시할 수 있습니다. 확산 로에는 데이터 수집 및 모니터링을위한 인터페이스 장비도 포함되어 있습니다. 여기에는 Windows 기반 소프트웨어 패키지와 그래픽 사용자 인터페이스가 포함됩니다. 용광로에는 가스 공급 시스템, 압력 트랜스듀서, 히터 및 난방 요소를 포함한 여러 액세서리가 제공됩니다. 이 장치는 안정적인 가스 공급 장치 (gas supply) 를 제공하고 작동 중 설정을 쉽게 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 압력 "트랜스듀서 '는 그것 이 안전 범위 내 에 있는지 확인 하기 위하여 약실 의 압력 을 측정 한다. "히터 '와 가열 원소 는" 히터' 원소 로부터 기판 으로 열 을 전달 하는 장치 를 사용 하여 "챔버 '내부 의 온도 균일 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 내부 구성 요소 외에도 KOKUSAI DJ-1206V에는 환경 모니터링 기계도 포함되어 있습니다. 이 도구는 가스 조성이나 압력의 변경 또는 편차를 모니터링하도록 설계되었습니다. 소프트웨어 내 경계 (boundary set) 를 초과하는 경우, 자산은 자동으로 조정하고 사용자에게 알릴 수 있습니다. 전반적으로, DJ-1206V 확산 로는 다양한 유형의 반도체 장치에 고급형 열 처리를 제공 할 수있는, 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 여러 산업 환경 에서 사용 할 수 있으며, 여러 가지 "프로그램 '에서 사용 하기 에 적합 하다.