판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9377458

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF
ID: 9377458
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Systems, 12" Process: SI3N4 2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF는 넓은 지역에서 수십억 개의 원자를 빠르게 고온 확산 할 수있는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 확산 로 에는 매우 긴 전극 을 가진 진공실 이 포함 되는데, 이것 은 "확산 '을 위한 극히 높은 온도 까지 동력 을 공급 할 수 있다. 전극은 확산 과정의 온도를 제어하기 위해 쉽게 조정 할 수 있습니다. 또한, 진공실에는 스트레스를 줄이고 확산 된 재료의 균일성을 향상시키는 아닐링 챔버 (annealing chamber) 옵션이 있습니다. 용광로의 또 다른 특징은 광범위한 온도 조절입니다. 용광로의 온도는 -100F와 2400F 사이에서 제어 할 수 있습니다. RS485 직렬 인터페이스가 내장 된 PLC (programmable logic controller) 는 수동 및 디지털 프로그래밍을 모두 허용합니다. 이를 통해 사용자는 온도에서 가스 유속 (gas flow rate) 에 이르기까지 거의 모든 매개 변수를 제어할 수있었습니다. HITACHI DJ-1206V-DF (HITACHI DJ-1206V-DF) 는 또한 고열로부터 전극을 보호하여 효율성과 수명을 향상시킵니다. 고온확산로는 도핑 된 금속, 유리, 반도체 재료의 확산 (doped metal, glass, and semiconductor material) 과 같은 많은 산업 응용 분야에 적합하다. 확산 용광로 (diffusion furnace) 시스템은 다양한 업그레이드 가능한 구성 요소 및 액세서리로 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 액세서리에는 쿼츠 튜브, 외부 가스 입구, 가스 정화 장치, 어닐링 챔버, 안전 인터 락 등과 같은 품목이 포함됩니다. 또한, 추가 열 발열을위한 선택적 회전 챔버가 있습니다. 이 확산 로 는, 원자 확산 을 위한 가장 신뢰 할 수 있고, 효율적 이고, 다양 한 장비 중 하나 이다. 견고한 디자인, 디지털 프로그래밍 기능, 사용자 정의 가능한 액세서리를 통해 많은 산업 어플리케이션에 적합합니다. 내구성 있는 구성과 다양한 온도를 갖춘 KOKUSAI DJ-1206V-DF 확산 로와 액세서리는 고온 확산 요구에 가장 적합한 선택입니다.
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