판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9285052

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF
ID: 9285052
CVD System Type: Si3N4.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF는 반도체 생산을 위해 설계된 고급 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 소형 웨이퍼를 사용하는 데 이상적이며, 다양한 기능과 액세서리 (accessory) 를 제공하므로 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. HITACHI DJ-1206V-DF 확산 로의 최대 온도 범위는 최대 1250 ° C이며 균일 한 가열을 용이하게하기 위해 분리 된 내부 대기를 특징으로합니다. 또한 저열량 (low-thermal capacity) 구성 요소와 직사각형 (rectangular) 핫 존 (hot zone) 이 있으며 온도 조절 기능이 뛰어납니다. 이 장치에는 비상 정지 및 과압 방출 기능, 전기 안전을위한 지상 결함 회로 인터럽터 (ground-fault circuit interrupter), 추가 보호를위한 비상 전원 끄기 기능 등 수많은 안전 메커니즘이 장착되어 있습니다. 확산 용광로에는 진공 운송 도구, 자동 웨이퍼/보트 로더, 쿼츠 튜브/링, 쿼츠 튜브/링 버너, 가스 입구, 쿼츠 예열선과 같은 많은 유용한 액세서리가 제공됩니다. 또한이 자산에는 쿼츠 제어 박스 (quartz control box) 와 가스 흐름 모니터 (gas-flow monitor) 와 전자기 행성 히터 및 RF 소스가 포함됩니다. 이 액세서리는 모든 구성 요소가 안전하고, 용광로 (furnace) 작업을 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. 이 모델에는 또한 강력한 다기능 컨트롤러 (multi-function controller) 가 포함되어 있으며, 이 컨트롤러는 용광로와 다양한 기능을 제어하는 데 사용됩니다. 이 컨트롤러는 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 또한 이 컨트롤러에는 데이터 로깅 기능, 기술 Data Sheet, 유지 보수 Data Sheet 등이 포함되어 있습니다. 또한 HITACHI 는 유지 보수 매뉴얼, OS 유지 보수 매뉴얼, 기능 매뉴얼 (Manual) 을 제공하여 장비를 최적으로 사용할 수 있도록 도와줍니다. 이 설명서에는 확산 용광로 시스템을 최대한 활용하는 데 도움이 되는 자세한 지침과 문제 해결 (Troubleshooting) 팁이 들어 있습니다. KOKUSAI DJ-1206V-DF 확산로 및 액세서리 장치는 반도체 생산을 위해 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있는 구성 요소, 다양한 기능, 직관적인 컨트롤러로, 안정적이고 균일한 결과를 얻을 수 있습니다.
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