판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9251676

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF
ID: 9251676
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
LPCVD System, 12" Quixace 1 2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF 확산 로는 전자 재료를 효율적으로 처리하기 위한 탁월한 솔루션입니다. 최고 품질의 결과를 위해 균일 한 난방 및 최적화 된 제어가 특징입니다. 퍼니스에는 진공-게터 펌프 (vacuum-getter pump) 와 석영 튜브 (quartz-tube) 가 장착되어 열처리 중 반응성 기화 가스를 수용합니다. 첨단 고성능 난방 장비 (HPT) 와 효율적인 증발 시스템과 결합된 이러한 기능으로, 이 확산은 다양한 어플리케이션에 이상적입니다. 이 용광로는 효율적인 온벽 구성 방법을 사용하여 균일 한 가열을 보장합니다. 최대 온도는 1250 ° C, 정확도는 +/- 5 ° C로, 각 용도로 안정적인 열 성능을 제공합니다. 저항 가열 된 수직 튜브 장치는 온도 감소를 최소화하고 상하 가열을 균일 하게 제공합니다. 위쪽 및 아래쪽 인슐레이션 레이어는 효율적인 성능을 보장합니다. HITACHI DJ-1206V-DF 확산 로에는 핫 월 방법과 빠른 벤트 밸브가 장착되어 있습니다. 게이트 밸브 (gate valve) 를 사용하면 공구의 열 균형을 유지하는 기계의 빠른 통풍과 냉각이 가능합니다. 이 기능은 균일한 난방과 빠른 냉각을 보장합니다. 쿼드 블레이드 (Quad-Blade) 팬은 짧은 시간 내에 벽을 냉각시켜 온도 균일성을 향상시킵니다. 이 확산 로에는 전원 장애 알림 (power failure notification) 기능이 있는 효율적인 제어 자산도 포함되어 있습니다. 제어 모델을 사용하면 온도 설정, 여러 위치 및 시간 매개변수의 온도, 상태를 모니터링하고 기록할 수 있습니다. 이 기능은 완벽한 작동 관리 (Operating Management) 및 난방 속도 (Heating Rate) 및 프로파일 (Profile) 을 제어하여 각 실행에서 정확한 온도 균일성을 달성합니다. KOKUSAI DJ-1206V-DF 확산 로는 최고 품질의 성능으로 정확한 결과를 얻을 수 있는 단순하면서도 효과적인 솔루션입니다. 고급 제어 장비와 결합된 온도 균일성 (temperity uniformity) 과 빠른 냉각 (quick cooling) 을 통해 광범위한 확산 응용 프로그램에 적합합니다. 이 신뢰성 있는 시스템 (Confidence System) 을 통해 사용자는 확산 프로세스 목표를 달성할 수 있다는 확신을 얻을 수 있습니다.
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