판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206 #293636499

ID: 293636499
빈티지: 2005
Diffusion furnace 2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206 Diffusion Furnace는 질소, 산소 또는 기타 가스를위한 고성능 자동 열 처리 장비입니다. HITACHI DJ-1206 (HITACHI DJ-1206) 의 모듈식 설계를 통해 다양한 열 처리 조건을 달성하여 고온 어닐링 (annealing) 및 산화 (oxidation) 등 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-1206은 연구 실험실에서 반도체 (semiconductor) 및 부품 제조 (component manufacturing) 에 이르기까지 다양한 연구 및 산업 환경에서 사용하기에 적합합니다. DJ-1206은 1,200 mm < sup > 3 </sup > 작업 공간, 6.0 kW 전력 출력 및 최대 온도 1,500 ° C를 갖추고 있으며, 공정 챔버의 피로없이 기판을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. HITACHI/KOKUSAI DJ-1206은 다양한 기술을 활용하여 온도, 압력, 가스 흐름 속도를 정확하게 제어하여 효율적인 열 처리를 보장합니다. 중앙 난방 시스템은 고급 세라믹 난방 요소를 사용하여 고효율, 균일 한 열 분포, 빠른 온도 상승을 제공합니다. 정확한 온도 제어를 위해 HITACHI DJ-1206은 고급 PID 폐쇄 루프 온도 제어 장치와 결합 될 수 있습니다. 확산 펌프 장치 (diffusion pump unit) 및 빠른 가스 효율 제어 (rapid gas efficiency control) 는 정확한 가스 흐름을 보장하여 여러 공정 가스를 높은 정밀도로 사용할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-1206은 환경 조건에서 작동하여 다양한 온도, 압력, 가스 하에서 작동하도록 설계되었습니다. 운영 환경은 제어 컴퓨터 시스템 (Control Computer Machine) 을 통해 지속적으로 모니터링되므로 프로세스 최적화 및 제어를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 경보 도구 (alarm tool) 는 비정상적인 조건 또는 기타 요인이 프로세스를 방해할 때 경고를 발생시킵니다. 통합 긴급 종료 자산은 심각한 사고를 예방하는 데 도움이됩니다. DJ-1206 (DJ-1206) 은 기판의 도입 및 포지셔닝을 지원하고 프로세스에 노출시키는, 확장 가능한 통합 로봇 암 (robot arm) 모델을 포함하고 있습니다. "로봇 '암 은 기판 배치 를 정확 하게 제어 하기 위하여 수동 조작 할 수 있으며, 장비 는 안전 하고 안전 하게 용광로 를 봉인 하는" 챔버' 뚜껑조절 장치 를 갖추고 있다. HITACHI/KOKUSAI DJ-1206 장치의 다른 기능으로는 저온 공기 누출 탐지기, 원격 작동 터미널 도구, 다양한 기판에 대한 데이터 처리를 쉽고 효율적으로 관리하는 레시피 데이터 관리 자산 등이 있습니다. 또한 HITACHI DJ-1206 에는 다양한 운영 기능을 통해 사용자를 안내하는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있어 생산성 및 일관된 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 확산 로의 정확한 제어를 찾는 모든 엔지니어 또는 연구자에게 적합합니다.
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