판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH #9288564

HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH
ID: 9288564
웨이퍼 크기: 6"
System, 6".
HITACHI/KOKUSAI DD-9200GH는 반도체 처리를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 시스템은 직접 구동, 자체 튜닝, 고온 확산 로로, 안정적이고 반복 가능한 어닐링 성능을 제공합니다. 그것은 ± 3 ° C의 정확도로 최대 1200 ° C의 온도를 달성 할 수 있으며, 실리콘, 갈륨 비소 및 기타 반도체 재료를 가공하는 데 이상적입니다. 용광로에는 고성능 고체 원자로 (Solid State Reactor) 가 장착되어 있으며, 우수한 기판 온도 균일성을 유지하면서 빠른 열주기가 가능합니다. 통합 석영 튜브 (quartz tube) 와 세라믹 난방 요소는 최대 에너지 효율을 보장하여 시간과 비용을 절감합니다. 이 시스템은 또한 안정적이고, 지속적으로 조절 가능한 가스 공급 장치를 갖추고 있으며, 일관되고, 균일하며, 반복 가능한 처리 환경을 유지합니다. 이 시스템은 사용자 친화적 인 역학 (mechanics) 과 프로그래밍 기능으로 설계되었으며, 열 프로세스의 설정 및 작동을 단순화합니다. AC 제어 장치는 프로그래밍, 실시간 모니터링, 데이터 로깅, 경보 표시, 온도 그래프, 진단 등 용광로 작동을 제어하는 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 용광로에는 과열 보호, 자동화 된 에르메틱 밀봉과 같은 내장 안전 기능이 추가로 장착되어 있습니다. 안전 기능은 어닐링 (annealing) 및 확산 (diffusion) 프로세스가 안전하고 효율성이 극대화되도록 보장합니다. 또한, 퍼니스는 다양한 액세서리와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 여기에는 석영 튜브 물개, 덮개, 리프팅 비품, 기판 홀더 및 어댑터가 포함됩니다. 이러한 액세서리는 용광로가 다양한 처리 요구 사항을 편리하게 수용할 수 있도록 합니다. 전반적으로 HITACHI DD-9200GH 확산 로는 고급 반도체 처리 어플리케이션에 적합합니다. 안전성 향상 (Advanced Safety Measure) 과 결합된 일관성 있고 효율적인 성능으로, 모든 반도체 실험실을 위한 안정적이고 강력한 도구입니다.
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