판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-853V #293637729
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판매
ID: 293637729
웨이퍼 크기: 8
Vertical diffusion furnace, 8"
Flat zone flat zone aligner
M-826 Wafer counter
CT-204S Ionizer
(2) BL-701 Barcode readers
DM-HB1 AGV sensor
CX-3002B Main controller
PCU-3000 / EC-5202 Exhaust controller
OMRON (CX-1314) PLC Unit
CX-1223 Mecha controller
CX-3202 MFC controller
CQ-1600 Temp controller
DN-150A Gate controller
CX-1317 Torch controller
D4EX05486 Heater transformer
(2) Hard Gas Pattern GFC Panels
Lamp torch
UV Sensor torch
SUS-316L Flange
SUS-316L Cooling flange
SUS-316L Seal cap
SUS-304 Cap base
Teflon Teflon cusion
SUS-304 Cool trap
Acrylic trap drain trap
SUS-304 Auto shutter
SUS-304 Scavenger cover
Teflon exhaust line assy exhaust line
SUS-316L EP Reactor gas line set
Mass Flow Controller (MFC)
MFC No / Gas / Full scale / Unit
MFC 1 / N2-1 / 30.000 / SLM
MFC 2 / O2-1 / 20.000 / SLM
MFC 3 / O2-2 / 0.600 / SLM
MFC 4 / H2 / 20.000 / SLM
MFC 5 / HCL / 0.500 / SLM.
HITACHI/KOKUSAI DD-853V는 산업용 고급 확산로 및 관련 액세서리입니다. 온도 범위 500-1200 ° C, 프로그래밍 가능한 최대 온도 1150 ° C의 소형 수직 배열 용광로입니다. 이 안정적이고 안정적인 용광로는 높은 처리량, 저렴한 비용, 정확한 열 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. HITACHI DD-853V에는 흑연 용광로 라이너와 세라믹 절연 반응물 구역이 있습니다. 균일 한 고출력 영역 3 개를 갖춘 수직 가열 구조를 사용합니다. 이를 통해 정확한 분산 온도 제어 및 균일 한 열 처리가 가능합니다. 고급 챔버 디자인 (Advanced chamber design) 은 세라믹 챔버 내에서 반응물 가스의 균일 한 미세 분배를 제공하여 공정 효율이 높습니다. 용광로에는 사용이 간편한 고해상도 터치 패널 모니터와 제어 장비가 있으며, 여기에는 현재 프로세스 상태, 작동 매개변수, 반응성 가스 유량 (reactant gas flow rate) 등이 표시됩니다. 또한 신뢰할 수있는 아트 컨트롤 시스템 (Art Control System) 의 상태를 특징으로하며 온도, 프로세스 및 응답 제어 소프트웨어가 제공됩니다. 이 제어 장치는 정확한 프로세스 설정 및 제어를 가능하게 합니다. 또한 KOKUSAI DD-853V에는 자동 스풀 (spool) 전송 및 배기 회선 솔루션이 포함되어 있어 빠른 속도, 빠른 시간 단축이 가능합니다. 제어 머신에서 활성화 될 수있는 사전 조절 된 재료 별 스풀 전송 (pre-conditioned material-specific spool transport) 기능은 잉여 소비를 최소화하고 일관된 프로세스 반복성을 보장합니다. 배기 라인 솔루션은 또한 대기 오염 및 도펀트 손실을 감소시키는 한편, 작동 중 에너지와 자원을 절약합니다. 안정적인 작동과 향상된 사용자 안전을 위해 DD-853V에는 안전 밸브, 가스 입구 차단, 온도 초과 사격 방지, 자동 과압 방출 (over-pressure release) 이 장착되어 있습니다. 이러한 보호 기능은 일관되고 반복 가능한 프로세스와 사용자 안전을 보장합니다. 결론적으로, HITACHI/KOKUSAI DD-853V는 안정적인 프로세스 반복성과 일관된 결과를 제공하기 위해 설계된 고품질 확산 로와 관련 액세서리입니다. 고급 챔버 설계, 손쉽게 탐색 가능한 터치 패널 모니터 및 제어 도구, 자동화된 스풀 전송 및 배기 회선 솔루션, 정교한 안전 및 과압 방출 (overpressure release) 기능을 통해 높은 처리량, 저렴한 비용, 정확한 열 처리를 위한 귀중한 자산입니다.
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