판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-853 #293643214

ID: 293643214
웨이퍼 크기: 8"
System, 8" Process: J2 Pyro Gas supply: Bottom PCW Supply: Bottom Controller power: 120 VAC, Single phase Heater power: 208 VAC, Single phase Hard Disk Drive (HDD) Power box Heater upper cover Gases: N2, H2, O2, TLC (DCE) Torch heater CX1317 Torch controller ATCS-15 SCHUMACHER CQ1600 Temp controller PLC OMRON CX3202 Gas controller Gas box Gas box DCE Line CX3002/B Main controller D4EX05486 transformer SIC Liner tube SIC Boat SIC Boat cap SIC Boat Pin SIC Torch liner tube Temperature controller: Heater controller Heater over Driver mechanisms: I/O Shutter I/O Stage FOUP Loader ARM Wafer detection: 25 Uin Wafer transfer 1+4 Ceramic fork Boat elevator Sealcap Turntable Pendent No heater Racks: (4) Lower 2 (5) Upper 2 (2) Sub 2 Gas supply: MFC Valve Torch unit ATCS-15 Absolute temperature control system Drivers: E-Axis motor R-Axis motor Z-Axis motor X-Axis motor Y-Axis motor V-Axis motor CS-Axis motor CZ-Axis motor CX-Axis motor CY-Axis motor OR-Axis motor Exhaust system: HORIBA STEC EC-5000 / PVU-3000 Exhaust APC Valve Pressure sensor.
HITACHI/KOKUSAI DD-853 (HITACHI/KOKUSAI DD-853) 은 확산 및 어닐링 프로세스에 사용할 때 사용자에게 높은 수준의 사용자 제어 및 성능을 제공하는 확산 용광로 및 액세서리입니다. HITACHI DD-853 은 고유의 고정밀 제어 장비를 장착하여 온도, 타이밍, 가스 순도 등을 완벽하게 제어합니다. 용광로 본체 (furnace body) 는 내구성이 뛰어난 고급 재료로 만들어졌으며, 과도한 마모와 눈물로부터 프로세스와 환경을 보호하기 위해 설계되었습니다. KOKUSAI DD-853의 중심에는 수직으로 장착 된 단일 셀, 코일 타입 쿼츠 원자로가 있습니다. 이러한 수직 포지셔닝은 확산 및 어닐링 프로세스의 탁월한 성능을 가능하게 합니다. 용광로는 최대 1450 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며 최대 3.2kW의 전력을 제공 할 수 있습니다. 온도 균일성은 가구 본체의 길이를 위아래로 +/- 5 ° C 내에서 유지됩니다. 확산 프로세스 모니터링 시스템 (Diffusion Process Monitoring System) 은 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 사용자는 최적의 성능을 위해 프로세스를 신중하게 조정할 수 있습니다. 용광로에는 공기 스크러빙 장치 (air scrubbing unit) 가 장착되어 있어 확산 및 어닐링 프로세스 전반에 걸쳐 깨끗한 공기가 사용됩니다. 이 기계에는 필터 및 냉각 시스템이 포함되어 있으며 닫힌 루프 도구로 작동합니다. 압력선 이 "에셋 '에 집적 되어 있으며, 확산 또는" 어닐링' 과정 에 필요 한 승인 된 "가스 '로 가득 차 있다. 용광로에는 공정의 최적의 제어를 위해 일련의 압력 및 변위 센서 (pressure and displacement sensor) 가 장착되어 있습니다. 또한 DD-853에는 피로미터, 현미경, 이미징 모델 등 일련의 액세서리와 이미징 도구가 포함되어 있습니다. 이 조합을 통해 사용자는 확산 및 어닐링 프로세스를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 피로미터 (pyrometer) 는 어닐링 또는 확산 중 샘플의 온도를 측정하고 자세한 판독값을 제공하도록 설계되었습니다. "마이크로스코프 '와" 이미징' 장비 는 높은 수준 의 세부점 과 정확성 을 제공 하는 한편, 표본 재료 의 "이미지 '를 확산 혹은 부수적 으로 제공 하도록 설계 되었다. 마지막으로, HITACHI/KOKUSAI DD-853 은 사용자와 환경을 보호하기 위해 설계된 다양한 안전 기능을 제공합니다. 용광로 는 필요 할 때 자동적 으로 전원 을 끄기 위해 지상 결함 "인터럽터 '와 압력 조절" 밸브' 로 설계 되었다. 배기 후드는 깨끗한 배기 경로를 제공하도록 설계되었으며, 멀티 스테이지 여과 시스템 (multi-stage filtration system) 은 연기를 잡아 제어합니다. 또한 용광로 (furnace) 에는 키를 누르면 즉시 전원이 꺼지는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있습니다. 요약하자면, HITACHI DD-853 은 확산 경로 및 액세서리로, 확산 및 어닐링 (annealing) 프로세스에 대한 높은 수준의 제어 및 성능을 사용자에게 제공합니다. 이 장치에는 다양한 기능과 액세서리 (액세서리) 가 포함되어 있어 사용자는 프로세스를 신중하게 제어하고 결과를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 안전 기능은 확산 및 어닐링 프로세스 (Annealing process) 동안 사용자와 환경을 보호합니다.
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