판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238012
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ID: 9238012
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (HCL)
Process gas: N2, H2, O2, HCL
Loading system:
Front operation panel: R-Axis
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6" (every 25)
I/O Stage check: Air off
CX 3002 Cassette loader
Wafer transfer: Air Off ((5) vacuum tweezer, 6")
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
MFC1: 30SLM
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas:
MFC4: O2 2SLM
MFC5: HCl 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / Close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V (HITACHI/KOKUSAI DD-833V) 는 다양한 재료에 대한 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 용광로는 몰리브덴 6 벽 난방 챔버, 고출력 석영 튜브 형 난방 요소, 2 단 다이어프램 펌프 및 고정밀 온도 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 HITACHI DD-833V는 다양한 확산 프로세스 동안 최대 1,400 ° C의 온도를 밀접하게 제어 할 수 있습니다. 용광로는 금속과 유리의 thinfilm 증착, CVD 프로세스, 열 처리와 같은 빠른 열 확산이 필요한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. KOKUSAI DD 833V의 몰리브덴 난방 챔버 (molybdenum heating chamber) 는 최소한의 열 손실로 빠르게 열을 가하도록 설계되었습니다. 석영 튜브 형 난방 요소는 정밀하고 일관된 열 확산을 위해 온도 변화에 대한 정확한 반응을 제공합니다. 용광로 옆에 위치한 2 단계 다이어프램 펌프는 표면 오염 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 고정밀도 온도 컨트롤러는 정밀한 온도 조절 (temperate control) 과 균일성 (unifority) 을 제공하여 확산 로의 빠르고 정확한 작동을 가능하게 합니다. 이 패키지에는 DD 833V 작동을 향상시키기 위해 설계된 추가 액세서리도 포함되어 있습니다. 용광로의 위치 샘플을 돕기 위해 높이 조절 가능한 홀더가 포함됩니다. 뚜껑의 리프트 메커니즘을 사용하면 열 처리 중 샘플에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 확산 로에 추가 전원 공급원 (예: 드라이 가스) 을 제공하기 위해 별도의 전원 공급 모듈이 포함되어 있습니다. 또한, 다양한 퍼니스 제어판, 전기 부품 및 기타 액세서리가 DD-833V (DD-833V) 에 포함되어 확산 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 제어판 은 사용 하기 쉽고, 직관적 인 명령 과 온도 와 확산 진행 상태 를 모니터링 할 수 있는 "지시기 '한 대 를 제공 한다. 전원 공급 장치 (Power Source) 와의 안전하고 안정적인 연결을 위해 필요한 모든 전기 부품이 포함됩니다. KOKUSAI DD-833V (KOKUSAI DD-833V) 는 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리 패키지로, 다양한 재료에 대한 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. HITACHI DD 833V는 우수한 난방 시스템, 액세서리 포함, 사용하기 쉬운 컨트롤 패널을 통해 열 확산을 단순하고 복잡한 프로세스로 만듭니다.
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