판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-833V-8B #9281053

HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B는 금, 알루미늄, 실리콘 및 구리 증착을 포함한 다양한 프로세스에 대한 완벽한 솔루션을 제공하는 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. 확산 용광로는 다중 영역 제어 (multi-zone control) 로 만들어져 정확한 제어 및 반복 가능한 정확성을 제공합니다. 고급 (Advanced) 기능은 정확한 온도 조절과 빠른 가열 시간을 제공하며, 레이어 간의 재료 두께와 균일성을 허용합니다. 최대 8 "크기의 기판을 처리 할 수 있으며 온도 범위는 70 ° C -1200 ° C에서 설정할 수 있습니다. 또한 압력 민감성 코팅 프로세스와 열 구배를 최소화하기위한 멀티 존 프로그래밍 가능한 제어 (multi-zone programmable control) 가 특징입니다. HITACHI DD-833V-8B의 미세 온도 제어는 증착률을 높일 수 있으며, 반도체 장치의 범프 응용에 이상적입니다. 퍼니스는 또한 재생 가능한 산화를위한 산화 위상 제어 장비 (OPCS) 를 특징으로합니다. 히터는 고주파 유도 (High Frequency Induction) 유형으로 균일 하고 도금 된 열 분배가 가능하며 CR 측면 센서 (x2) 는 정확하고 정확한 온도 판독을 보장합니다. 용광로 꼭대기 에 있는, 석영 유리 로 만든 "뷰포오트 '는 고온 에서 뛰어난 가시성 을 제공 한다. KOKUSAI DD-833V-8B는 또한 두꺼운 기판에서 작동하고 고밀도 도핑을 위해 변조 된 RF 전원 및 고급 C 모드 프로그램을 사용하는 벽면 노화 시스템을 갖추고 있습니다. 온도 측정은 고성능 열 센서 장치 (thermal sensor unit) 에 의해 제공되므로 용광로의 정확한 온도 설정이 가능합니다. DD-833V-8B는 양극 플랜지, 회전 가능한 양극 구동 암 어셈블리, 고온 전기 공급 장치, 호스 및 연결 케이블을 포함한 기본 액세서리 키트와 함께 번들로 제공됩니다. 종합적인 제어 시스템에는 고해상도, 컬러 LCD 디스플레이, HI/LO 열, 램프 시간, 총 프로세스 시간, 시각적 프로세스 기록, 5축 동작 제어 및 다목적 Function Key 작업이 포함됩니다. 전반적으로 HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B는 다양한 프로세스에 대한 고급 확산 용광로 및 액세서리 도구입니다. 다중 영역 제어, 정확한 온도 제어, OPCS, HFIC 가열, 벽면 노화 자산 및 기본 액세서리 키트가 특징입니다. 종합적인 제어 모델 (comprehensive control model) 은 매우 효과적이고 재현이 가능한 프로세스 출력을 보장하기 위해 필요한 모든 도구를 제공합니다.