판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-823V #9135167

ID: 9135167
웨이퍼 크기: 8"
Vertical diffusion furnace, 8" VF Alloy.
HITACHI/KOKUSAI DD-823V (HITACHI/KOKUSAI DD-823V) 는 다양한 재료와 화합물을 신속하게 처리하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리 장비입니다. 확산 용광로는 집적 회로, 반도체와 같은 마이크로 일렉트로닉스 제품의 제조에 사용된다. HITACHI DD-823V는 대용량 웨이퍼 확산, CVD (chemical vapor deposition), 이온 이식 (ion implantation) 과 같은 특정 응용 프로그램을 처리하기 위해 재현 가능한 고온 환경을 제공합니다. KOKUSAI DD-823V는 균일 한 열 분포, 정밀 온도 조절 및 고온 정확도를위한 3 구역 석영 튜브 퍼니스를 갖추고 있습니다. DD-823V의 온도 범위는 500 ° C ~ 1200 ° C입니다. 여기에는 내장 이중 압력 제어, 강제 가스 순환, 경보와의 연동 안전 시스템이 포함됩니다. 이 퍼니스에는 냉각 팬 (cooling fan) 이 장착되어 있어 냉각 성능이 향상되고 진공/압력 게이지 (옵션) 가 있어 정확한 압력 판독이 가능합니다. HITACHI/KOKUSAI DD-823V에는 생산 속도를 높이고 정확한 온도 설정을 지원하는 다양한 액세서리가 있습니다. 원자로 홀더, 지그 키트, 배기 어댑터 및 산소 유량계와 함께 제공됩니다. 지그 키트 (jig kit) 는 웨이퍼를 가로 질러 균일 한 온도 프로파일을 만드는 데 도움이되며, 산소 유동계 (flowmeter) 는 산소 유속의 정확한 제어를 허용합니다. 용광로에는 응용 프로그램의 사양에 따라 온도를 조정하기위한 온도 컨트롤러 (temperate controller) 도 포함되어 있습니다. HITACHI DD-823V는 과열 경보, 범위를 벗어난 경보, 적외선 모니터 등 다양한 안전 장치 (Safety Unit) 기능을 제공합니다. 또한, 퍼니스에는 위험한 상황이 발생할 때 운영자를 보호하기 위해 비상 컷오프 (emergency cut-off) 스위치와 화재 경보기가 포함됩니다. KOKUSAI DD-823V (KOKUSAI DD-823V) 는 고급 세라믹 블록 및 단열재 (insulation materials) 를 사용하여 오랜 기간 동안 최고 온도에서 작동 할 수있는 오래 지속되고 신뢰할 수있는 기계를 보장합니다. DD-823V (DD-823V) 는 다양한 소재에서 확산 및 CVD 처리를 수행하는 데 필요한 고객에게 적합한 선택입니다. 빠른 처리 시간, 정확한 온도 조절, 다양한 안전 기능을 제공하여 보호 및 신뢰성을 향상시킵니다 (영문). 실험실이나 업계에서 활용되는 HITACHI/KOKUSAI DD-823V 용광로 및 액세서리는 뛰어난 성능과 장기적인 운영을 제공합니다.
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