판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9397458
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9397458
빈티지: 2007
Vertical diffusion furnace
Robot: NG
(4) Resistance heating cartridge heater zones
Effective area: φ276 mm
Heat uniformity length: 800 mm (heater stand alone)
Operating temperature range: 400°C~850°C
Quartz incorporated (wafer fully charged)
Heat equalization length: 740 mm
Operating temperature range: 400°C - 500°C
Cassette shelf: (3) Rows x (3) columns
Cassettes: 9"- 6"
Maximum power consumption: 800°C
Power supply: 200 V, 3.6 kW, 3-Phase
2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-812V 확산 로는 산화 및 빠른 열 어닐링 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 8 인치 직경의 석영 튜브를 통해 뛰어난 균일성과 엄격한 프로세스 제어를 제공합니다. 용광로는 산화물 및 질화물 필름을 모두 처리 할 수 있습니다. 최대 1250 ° C의 고온 기능 및 +/- 0.1 ° C의 반복 가능성 (repeatability accuracy) 을 통해 반도체 장치 제조와 같은 까다로운 프로세스에 대해 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. HITACHI DD-812V 는 고유한 Zone Control 장비를 갖추고 있어 프로세스 최적화를 위한 정밀한 난방 프로파일을 제공합니다. 실온에서 1250 ° C까지의 프로세스 온도에서 작동 할 수있는 2 개의 독립적 인 제어 히터와 2 개의 쿼츠 튜브 홀더가 장착되어 있습니다. 퍼니스는 또한 경보, 열 카운터 및 프로세스 제어 논리를 통해 포괄적 인 모니터링을 제공합니다. KOKUSAI DD 812V에는 터보 펌프, 백킹 펌프, 쿼츠 벨 항아리, 냉판 및 피트 페달 컨트롤러와 같은 여러 액세서리가 장착되어 있습니다. "터보 '" 펌프' 는 산화 과정 중 에 "가스 '분자 를 효율적 으로 제거 하는 것 을 가능 케 하며, 후원" 펌프' 는 공기 흡입 을 방지 한다. "쿼츠 '종" 항아리' 는 공정 환경 을 유지 하는 데 사용 되고, 냉판 은 열 충격 의 위험 을 감소 시킨다. 마지막으로, 피트 페달 (foot pedal) 은 추가 제어를 제공하여 열 설정을 정확하게 조정하고 용광로를 시작/중지할 수 있습니다. DD 812V 는 과열 보호 (over-temperature protection) 및 열 연동 시스템 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 즉, 프로세스는 안전하고 안정적으로 유지되므로, 오래 지속되는 프로세스 중에서도 안정적으로 작동할 수 있습니다. 또한 최대 10 개의 작동 메뉴를 저장할 수 있으며, 최대 3 개의 온도 프로파일을 기록 할 수 있습니다. HITACHI DD 812V 확산 로는 강력하고 신뢰할 수있는 기계이며, 산화물 및 질화물 필름에 대한 뛰어난 프로세스 제어 및 반복 성을 제공합니다. 고급 안전 (Safety) 기능과 결합된 사용이 간편한 컨트롤과 기능을 통해 다양한 확산 및 어닐링 (Annealing) 프로세스를 선택할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다