판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #293796080

HITACHI/KOKUSAI DD-812V는 정밀하고 고온 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 다목적 확산 로입니다. 이 기계는 프로세스 효율성과 통일성을 최적화하기 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 확산 용광로는 처리실이 크며 최대 1200 ° C의 온도에서 작동합니다. 챔버 (chamber) 는 축 펌프 벨 항아리로 설계되었으며, 균일 한 가스 흐름 및 온도 분포를 보장하기 위해 가스 흐름 제어를 갖추고 있습니다. HITACHI DD-812V에는 1 × 10-3Pa까지 진공 수준이 가능한 터보 분자 펌핑 시스템이 장착 된 고압 챔버가 있습니다. 용광로 에는 자동 "컴퓨우터 '화 된 공정 제어" 시스템' 이 갖추어져 있는데, 이 "시스템 '은" 프로그램' 을 제어판 으로 옮기거나 여러 공정 을 위한 여러 가지 조리법 에 접근 하는 데 사용 할 수 있다. 컨트롤러는 각 존 (zone) 의 프로세스 매개변수와 온도를 모니터링하여 프로세스 전반에 걸쳐 일관성을 보장합니다. KOKUSAI DD 812V에는 온도를 자동으로 조정하여 원하는 균일성을 달성하도록 설계된 다양한 자동 튜닝 기능도 있습니다. 확산 로에는 효율적이고 균일 한 처리를 위해 다양한 액세서리가 있습니다. 여기에는 고압 석영 라이너, 흑연 서셉터, 석영 도가니 및 알루미나 보트가 포함됩니다. 석영 라이너 (quartz liner) 는 고온 또는 압력으로 인해 석영 튜브를 손상 또는 파손으로부터 보호하는 반면, 흑연 서셉터 (susceptor) 는 확산 챔버 전체에 열을 균등하게 분배하도록 설계되었습니다. 석영 도가니 와 "알루미나 '보트 는 확산 과정 중 에 기질 을 보유 하는 데 사용 될 수 있다. DD 812V에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 에어록 (airlock) 은 폭발성 대기가 챔버로 들어가는 것을 방지하기 위해 추가 안전 기능으로 기능합니다. 이 용광로는 또한 화염 탐지 시스템, 추가 보호를위한 세라믹 섬유 절연 (ceramic fiber insulation) 및 안전한 작업 환경을 유지하는 데 도움이되는 유냉식 측면 벽 (oil-cooled side wall) 을 갖추고 있습니다. 확산 용광로는 반도체 확산, 티타늄 확산, 다이 부착 작업 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 이 기계의 다용도 (versitility) 와 특징은 정밀도, 고온 처리가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 사용하기 쉽고 일관된 결과를 제공합니다.