판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9237189

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H는 가장 어려운 어플리케이션을 처리하도록 맞춤형 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. HITACHI DD-802V-H는 최대 2200 ° C의 확산 프로세스에 적합한 고온 내성 물질로 구성됩니다. 이렇게 하면 에너지 소비가 빠르고 낮아지며 유지 관리 비용이 절감됩니다. 용광로는 제어 온도 균일 및 낮은 균일 오차를위한 절연 텅스텐 필라멘트 (tungsten filament) 와 정확한 온도 측정을 위해 2 세트의 열전대 (thermocouple) 가있는 확산 모듈을 갖는다. KOKUSAI DD-802V-H는 3 구역 온도 제어를 특징으로하여 전체 웨이퍼에서 고품질 확산을 생성합니다. 가열된 영역은 또한 열 스트레스로 인한 왜곡을 줄이는 데 도움이됩니다. DD-802V-H는 고급 피로메트릭 안전 (pyrometric safety) 및 산화 방지 기능을 갖추고 있어 더 긴 실행과 향상된 효율성을 제공합니다. 피로메트릭 장비는 최대 1650 ° C의 온도 판독값을 가진 4 개의 열전대, 4 개의 독립적 인 과온 센서 및 2 개의 피로미터 헤드로 구성됩니다. 공정 가스는 용광로 전체에서 순환되어 온도 균일성 및 균일 한 도핑 농도가 향상됩니다. 또한, 퍼니스에는 산화 방지 시스템 (anti-oxidation system) 이 있으며, 확산 과정에서 컨베이어 및 가스 흐름의 방향을 조정하여 산화 손상으로부터 웨이퍼를 보호합니다. HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H에는 가스 누출 및 교차 오염을 최소화하는 특허를받은 반 폐쇄 동종 가스 장치가 제공됩니다. 이 기계는 수동 제어 도구 (manual control tool) 가 필요하지 않으므로 운영 오류 (operating error) 가 줄어들면서 효율성이 향상됩니다. 또한 HITACHI DD-802V-H 는 프로세스 로그를 수집하여 제조 과정에서 온도와 유량 (flow rate) 을 추적할 수 있습니다. 전반적으로 KOKUSAI DD-802V-H는 최첨단 확산 로로, 고급 안전 및 산화 방지 기능, 최소화 된 가스 누출, 온도 균일성 및 제어 향상 덕분에 효율성 및 비용 절감 효과를 제공하는 최첨단 확산 로입니다. 이 모델은 가장 까다로운 제품 중 일부를 최고의 품질 (Quality) 으로 제조하려는 사용자에게 강력하고 안정적인 솔루션을 제공합니다 (영문).