판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9226001

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 9226001
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
Vertical furnaces, 6" 1992 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H는 전자 업계의 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 장비는 물리적 증기 증착 전에 고온 화학 증기 증착, 고온 광자 경화 및 사전 어닐링에 사용됩니다. 확산 용광로는 마이크로 프로세서 제어, 다중 매개 변수 프로그래밍 시스템에 의해 작동되며, 사용하기 쉬운 인터페이스입니다. 이 장치는 최대 36 개의 다른 프로세스 레시피를 저장할 수 있으므로, 사용자는 각 프로세스를 재프로그램 (reprogram) 할 필요 없이 서로 다른 프로세스를 신속하고 정확하게 수행할 수 있습니다. HRF-802V-H의 챔버 (chamber) 는 최대 온도 균일성과 유연성을 보장하기 위해 온도가 높은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 있습니다. 수직 리프트 도어는 기판을 쉽게 정렬 할 수 있으며, 측면 오프닝 챔버 (side-opening chamber) 설계는보다 균일 한 온도 조절을 제공합니다. 용광로의 온도 범위는 500 ~ 1100 ° C이며, 반 정지 전면 로더 및 후면 언로드 도어가 있습니다. 도가니 (crucible) 는 고온 공정을 위해 설계되었으며 2 층 흑연 절연기를 포함하여 모든 스테인리스 스틸 구조로 만들어졌습니다. 판형 전기 가열 요소는 프로세스 미디어를 요소로부터 멀리하도록 차폐 (shielded) 됩니다. 모든 세라믹 패들 (옵션) 을 사용하면 처리 중 미디어 전송을 제어할 수 있습니다. 가스제어 도구 (옵션) 는 가공하는 동안 별도의 정확한 대기 제어 기능을 제공합니다. 액세서리 키트 (Accessory Kit) 는 사용자가 프로세스를 빠르고 정확하게 수행할 수 있도록 설계되었으며, 고품질 (High-Quality) 엔드 제품을 제공합니다. 절연 및 금속 화 키트 (Metallization Kit) 가 포함되어 있어 테스트 격리 및 상호 연결을 허용합니다. 범용 퓨징 메쉬 키트; 및 알루미늄 증발 보트. 또한 "키트 '안 에는 챔버' 와 진공" 시스템 '을 상호 연결 하기 위한 "호오스' 와" 튜빙 '이 있다. HRF-802V-H 의 전자 기능은 모든 매개변수에 대한 정확한 제어 및 판독값을 제공하도록 설계되었습니다. 진공 자산은 디지털 판독값을 갖춘 멀티 스테이지 진공 펌프 (multi-stage vacuum pump) 로 설계되었으며 최대 10-6 torr의 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 이 용광로에는 정교한 로깅 및 모니터링을 위해 PC에 직접 연결되는 혁신적인 온도 출력 (temperature output) 모델도 있습니다. HITACHI DD-802V-H (Hitachi DD-802V-H) 는 강력한 확산 로와 액세서리 장비로, 전자 업계의 다양한 요구를 충족할 수 있는 정확성과 유연성을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 고품질 (HA) 결과를 빠르고 안정적으로 생산할 수 있으며, 업계의 여러 애플리케이션에 적합한 완벽한 선택입니다.
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