판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9210098

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H는 기판 난방 목적으로 설계된 고급, 다용도, 디지털 제어 확산 로입니다. 중량 304L SS 챔버 및 BN (Boron Nitride) 난방 요소가 장착되어 있으며 최대 온도 범위는 1000 ° C입니다. 이 소형 용광로는 온도 균일성이 뛰어난 5 구역 저항 난방 장비를 갖추고 있습니다. 또한 최대 4KW의 최대 로드 용량과 높은 전력 정확도 0.2% 를 제공합니다. 이것은 단일 웨이퍼 및 기판 난방 프로세스 모두에 매우 적합합니다. 난방 공정을 정확하게 제어하기 위해 HITACHI DD-802V-H에는 최고 수준의 정확도를 보장하는 고해상도 PID 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한 LED 디스플레이 (static 및 dynamic range) 를 통해 온도 설정을 정확하고 빠르게 조정하고 모니터링할 수 있습니다. KOKUSAI DD-802V-H는 타이머 설정, 경보 모니터링, 폐쇄 루프 제어, 자동 재시도, 자동 튜닝 등 다양한 기능과 기능을 제공하여 뛰어난 온도 안정성과 균일성을 제공합니다. 높은 품질과 안정적인 성능을 보장하기 위해 DD-802V-H 확산 로는 세라믹 섬유 단열재, 내구성 높은 고온 부품, 빠른 열 회수로 구성됩니다. 또한, 다양한 처리 온도에서 정확한 온도 제어를 제공하는 디지털 온도 디스플레이 (digital temperature display) 를 갖춘 고효율 PID 자동 조정 온도 제어 시스템 (auto-tune temperature control system) 으로 구동됩니다. 견고한 빌드 및 품질 건설은 또한 오래 지속되고 문제가없는 운영을 보장합니다. 보다 쉽고 사용자 친화적인 운영을 위해 HITACHI에는 HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H 확산 로가 있는 다양한 액세서리도 포함되어 있습니다. 여기에는 범용 전원 코드, 쿼츠 튜브, 샘플 집게 및 쿼츠 플레이트 지원이 포함됩니다. 이를 통해 운영자는 번거로나 합병증 없이 확산 로를 빠르게 설치하고 사용할 수 있습니다. 전반적으로 HITACHI DD-802V-H 확산은 기판 공정에 우수하고 신뢰할 수있는 난방 솔루션입니다. 사용 및 유지 보수가 용이한 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 5 구역 저항 난방 장치는 우수한 온도 균일성을 보장하고 PID 컨트롤러는 정확한 온도 제어를 보장합니다. 또한 PID 자동 조정 온도 조절기 (Auto-Tune Temperature Control Machine) 에 의해 구동되어 에너지 활용도를 효율적으로 높이고 수동 교정이 필요합니다. 강력한 빌드 및 품질 구조와 함께, 이 확산 퍼니스는 무적의 오래 지속되는 성능을 제공합니다.