판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #293608648

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H는 업계 최고 수준의 어플리케이션을 위해 설계된 최상위 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 최대 1,450 ° C의 온도에 도달 할 수있는 이중 확산 로이며, 직경이 최대 6 "인 최대 3 개의 쌓인 기판을 수용 할 수 있습니다. 석영 튜브 기반이되는 것은 용광로 전체에서 80% 이상의 매우 높은 열 균일성 및 재생성을 허용했습니다. 진공 "펌프 '는 진공실 에서 산소 와 다른 오염 물질 을 대피 시키는 데 사용 되는 진공" 펌프' 를 갖추고 있으며, 진공 환경 을 30mBar 까지 유지 하는 데 사용 할 수 있다. 흑연 가열 요소는 원통형 구성으로, 마이크로 프로세서 제어 PID 온도 조절과 함께 한 쌍의 이중 블레이드 분리 가열 요소 (pair of dual-blade isolated heating elements) 에 위치합니다. HITACHI DD-802V-H는 정확하고 반복 가능한 N2/H2 프로파일 관리를 제공하는 매우 민감한 고정밀 온도 컨트롤러 기능을 갖추고 있습니다. 이중 블레이드 요소 배열은 또한 최적의 온도 균일성을 위해 최적의 청소 대기 관리를 허용합니다. 난방 장치 는 또한 열 효율성 의 손실 을 최소화 하여 "기판 '크기 가 크더라도, 빠른 반응 온도 경사 를 일으키도록 설계 되었다. KOKUSAI DD-802V-H에는 직관적이고 사용하기 쉬운 그래픽 디스플레이가 있는 고급 LCD 컨트롤러 패널이 장착되어 있습니다. 과열, 개방형 회로 및 비정상적인 압력 경보로부터 보호하기 위해 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 다른 기능으로는 여러 가열 및 냉각 곡선, 프로그래밍 가능한 전열 주기, 자동 차단, 게이지 교정 및 정확한 확산 결과를 보장하는 매개 변수 세밀 조정이 있습니다. 이 패키지에는 히터 쉴드 챔버, 질화물 라이너, 요소 가드, 알람 버저 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한 기판을 적재 할 때 도가니 (crucible) 에 완벽한 중심 및 균일 한 압력을 보장하는 자동 레벨링 및 도어 정렬 메커니즘이 있습니다. 결론적으로, DD-802V-H 확산 용광로 패키지는 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하는 프리미엄 패키지입니다. 감도가 높은 열전대 및 고급 LCD 컨트롤러, 단단한 온도 균일성, 정확한 기판 적재 및 배치를 갖춘 이 패키지는 다양한 어플리케이션을 제공합니다. 안전 기능, 액세서리 선택 등으로 인해 정밀 확산 (precision diffusion) 과 고급 어플리케이션 프로세싱에 이상적인 패키지가 됩니다.