판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223VN #9351395

HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN 확산 퍼니스는 전자 산업 실리콘 웨이퍼 생산을위한 고정밀 생산 도구입니다. 이 용광로는 실리콘 웨이퍼 제작을위한 확산 공정에서 뛰어난 정확성과 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. HITACHI DD-1223VN 확산 로에는 확산 작업 중 정밀한 열 제어를 위해 다양한 온도 범위를 가진 고급 온도 제어 장치 (Advanced Temper Control Unit) 가 포함되어 있습니다. 이 용광로는 고주파 (high-frequency) 전원 공급 장치 (power supply) 로 구동되며, 전력 소비를 줄이고 용광로의 작동 온도 범위를 보다 정확하게 제어합니다. 이 용광로는 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었으며 산업 등급 운영에 대한 고온 및 압력을 처리하도록 제작되었습니다. KOKUSAI DD-1223VN의 유니버설 디자인 (Universal Design) 은 Makeloading 및 Unloading이 쉽고 전체 작업 범위에 걸쳐 웨이퍼 온도의 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. 용광로의 고정밀 온도 제어 장치에는 실시간 온도 모니터링을위한 통합 적외선 피로미터 (pyrometer) 가 포함되어 있습니다. 이것은 공정의 균일성에 대한 반복 가능한 열 입력으로 일관된 결과를 제공합니다. 열은 에너지 효율 난방 시스템 (energy efficient heating system) 에 의해 생성되며, 보다 안정적이고 정확한 확산 과정을 보장합니다. 포함 된 석영 보트는 가공 중에 웨이퍼를 수용하고, 빠르고 균일 한 확산 작업을 허용합니다. 또한 DD-1223VN에는 다양한 액세서리가 포함되어 있어 사용자 환경을 향상시킵니다. 용광로에는 휘발성 기체를 발사하여 확산 과정을 개선하기위한 배기 장치 (exhaust unit) 가 포함되어 있습니다. 또한 다양한 외부 온도 센서 (external temperature sensor) 와 모니터 (monitor) 를 사용하여 용광로 환경을 보다 효율적으로 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로 HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN Diffusion Furnace는 전자 산업을위한 다재다능하고 매우 정확한 생산 도구입니다. 고정밀도 온도 조절, 에너지 효율적인 난방기, 다양한 액세서리가 고온 실리콘 웨이퍼 확산 작업에 적합한 옵션입니다.