판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223VN #9285063

HITACHI/KOKUSAI DD-1223VN은 반도체 제조 및 연구 환경에서 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 로는 다양한 재료 및 기판의 빠른 열 처리 (thermal processing) 가 가능하여 난방 속도 (heating rate) 및 온도 (temperature) 에 대한 고정밀 제어가 가능합니다. 장비는 전원 랙 모듈, 주 컨트롤러 장치, 2 개의 독립적으로 제어되는 도가니, 히터 블록 및 정밀 온도 컨트롤러 장치로 구성됩니다. 전원 랙 (Power Rack) 모듈에는 주 전원 공급 장치와 히터 (Heater) 블록이 모두 장착되어 있으며, 정밀한 확산 가열을위한 꾸준한 전압을 유지하도록 설계되었습니다. 기본 컨트롤러 장치는? 뇌? 로 작동합니다. 직관적인 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 를 통해 두 도가니 (crucible) 의 온도를 제어할 수 있습니다. 두 개의 도마뱀을 독립적으로 제어 할 수 있으며, 최대 온도 램프 속도 (최대 300? C/sec) 로 최대 1150? C 온도로 가열됩니다. 히터 블록은 여러 개의 흑연 블록으로 구성되며, 각 블록은 온도에 부착되어 전체 블록 표면의 정확한 온도를 달성합니다. 히터 블록 (heater block) 과 도가니 (crucible) 는 안전성과 정확도를 높이기 위해 석영 실에 둘러싸여 있습니다. 정밀 온도 컨트롤러 장치 (precision temperature controller unit) 는 확산 프로세스 중 두 도가니 모두에 대해 일정한 온도 (1? C 이상) 를 모니터링하고 유지하며, 정밀한 가열을 보장하기 위해 다양한 자동 기능을 제공합니다. HITACHI DD-1223VN에는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 흑연 "블록 '은 가열 원소 와" 샘플' 기판 사이 의 접촉 을 방지 하기 위해 설계 되었으며, 석영 "챔버 '는 주변 환경 에 열 이 퍼지지 않도록 설계 되었다. 또한, 질소 제거 장치 (nitrogen purge unit) 는 산화를 예방하는 데 도움이되고, 냉각 및 스크러빙 기계는 공정에서 먼지와 배기를 줄이는 데 도움이됩니다. 결론적으로, KOKUSAI DD-1223VN은 반도체 제조 및 연구 환경에서 최대의 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 전원 랙 모듈, 주 컨트롤러 장치, 2 개의 독립적으로 제어되는 도가니, 히터 블록 및 정밀 온도 컨트롤러 장치는 모두 함께 작동하여 안정적인 확산 처리를 제공합니다. 안전하고, 정확하고, 효율적인 프로세스를 보장합니다.