판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9358304

HITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 최대 1250 ° C의 온도가 가능한 고온로로, 일반적으로 확산 프로세스 및 반도체 장치 제조에 사용됩니다. 이 옵션은 정밀하고 균일한 온도 제어에 이상적인 선택으로, 사용자가 정확한 정확도로 프로세스 단계를 수행할 수 있도록 합니다. 용광로는 수직, 박스 형 용광로이며, 상단 장착 뚜껑이 있으며, 뛰어난 온도 균일성을 제공합니다. 내부에는 스테인리스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 이 재순환 된 석영 튜브를 수용하여 정확한 온도 조절을 제공합니다. "튜우브 '는 기판 을 적재 하는 석영" 서셉터' 에 결합 된다. 이 튜브에는 용광로 대기의 밀봉과 단단한 온도 조절이 가능한 보호 O 링 (O-ring) 이 장착되어 있습니다. 용광로는 또한 인코넬 (Inconel) 반응 챔버를 특징으로하며 오일 바스 (oil bath) 에 장착되어 열원 역할을합니다. HITACHI DD-1223V 는 최대 부하 용량이 200g 인 확산 공정을 위해 도가니 직접 드라이브 (direct-drive) 쿼츠를 장착하고 있습니다. 또한 최대 2.5kW의 드라이브 모터를 처리 할 수 있으며 전체 작동 온도 범위는 500 ° C ~ 1250 ° C입니다. 용광로에는 디지털 온도 컨트롤러, PID 폐쇄 루프 온도 제어 장비, 공기 제거 시스템 및 비상 정지 스위치가 장착되어 있습니다. 컨트롤러는 정확한 설정 포인트를 프로그래밍할 수 있도록 하며, 각 단계에서 모든 프로세스 매개변수를 모니터링, 기록, 저장할 수 있습니다. 또한 용광로의 온도, 순도, 압력, 가열 및 냉각 속도 (rate of heating and cooling) 를 조정하여 사용자에게 공정을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 공기 제거 장치 (air purging unit) 는 용광로 전체의 균일 한 온도 분포를 보장하며 오염 확산 환경으로부터 자유롭고 깨끗하게 유지하는 데 도움이됩니다. KOKUSAI DD-1223V는 반도체 장치 제작 및 기타 온도 민감 프로세스에 이상적인 안정적이고 정밀한 확산 용광로입니다. 정확한 온도 조절, 균일 한 온도 분배, 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이러한 기능의 조합으로 DD-1223V는 다양한 어플리케이션에 이상적인 툴이 됩니다.