판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9351374
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HitachiHITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 최첨단 확산 로로, 특히 금속/Si 및 저온 공정과 같은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 개발되었습니다. HITACHI 확산로 제품군의 고급 모델 중 하나로, 탁월한 기술, 성능, 신뢰성, 사용자 친화성을 제공합니다. HITACHI DD-1223V는 빠른 열 처리 및 일시적인 산화주기를 가능하게하며, 이는 최고 등급의 단일 웨이퍼 처리를 생성합니다. 개방형 프레임 설계는 옵션 CVD 삽입 옵션을 포함하여 다양한 공구 구성만 수용합니다. 용광로 설계 자체는 작고 견고하며, 소형이며, 가볍지만 견고성 (rigidity) 과 진동 댐핑 (damping) 을 제공하는 견고합니다. 결과적으로, 난방 정확도가 향상되어 정확하고 일관된 처리가 가능합니다. KOKUSAI DD-1223V에는 2 개의 난방 장치 (전기 저항 또는 특수 가스 버너) 가 있습니다. 둘 다 사용 및 유지 보수가 쉽고, 최대 1100 ° C의 조절 가능한 온도를 제공합니다. 특히, 전기 장비 는 효율성 이 높으며, 근처 의 근원 으로부터 방해 를 받지 않고, 믿을 만한 난방 장치 를 제공 한다. CVD 삽입 (CVD insert) 은 사용되었을 때, 웨이퍼가 동일한 온도 및 성능으로 실행되는 동안 대기의 단순화 된 치환을 지원합니다. 통합 컨트롤러 시스템은 모든 주요 프로세스 챔버 시스템과 호환되며, 풀 컬러 그래픽, 실시간 디스플레이 및 모니터링, low-angle observation window, advanced multi-zone programming 등 다양한 기능을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 쉽게 설치, 운영할 수 있으며, 지원 소프트웨어를 통해 원격지에서 액세스할 수 있습니다. 마지막으로, 안전은 DD-1223V (DD-1223V) 의 핵심 요소이며, 잠재 잔류 온도로부터 보호하기 위해 자동 사이클 개방 장치 (Automatic Cycle Opening Unit) 와 같은 다양한 안전 강화 기능이 있습니다. 에러 방지 (Safe-Guarding) 및 압력 변화 (Pressure Changes) 및 수분 보호를위한 통합 잠금 장치도 있습니다. 최대 결과를 얻기 위해 HITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 용광로, 컨트롤러, 타이머, 검출기 등 전체 액세서리에서 지원됩니다. 또한 다양한 After Sales 서비스와 지원 (기술 지원, 정기 유지 보수 및 조정 작업 포함) 도 제공됩니다. 결론적으로, HITACHI DD-1223V는 혁신적이고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 확산 로로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 다양한 사용자 친화적 (user-friendly) 기능과 결합된 탁월한 설계 및 건설을 통해 반도체 처리 산업 전문가들에게 이상적인 선택이 됩니다.
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