판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9315036

HITACHI / KOKUSAI DD-1223V
ID: 9315036
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Diffusion furnace, 12" 2002 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V 확산 퍼니스는 기판 난방 및 녹기 작동을위한 안정적이고 정확한 도구입니다. 어닐링, 확산 및 합금 프로세스에 이상적입니다. 이 고급 벤치 탑 확산 로에는 단일 영역 (single-zone), 강제 대류 작업 구역이 있으며, 빠른 온도 조절과 고품질 표본의 생산이 가능합니다. 최대 온도는 1200 ° C, 튜브 직경은 100mm 인 직선 석영 튜브가 특징입니다. 스트레이트 쿼츠 튜브 (straight quartz tube) 에는 난방 기능과 냉각 기능이 있어 온도 조정이 쉽고 정확합니다. HITACHI DD-1223V (HITACHI DD-1223V) 는 변형과 산화를 최소화하고 내구성과 정확성을 더욱 향상시키기 위해 스테인리스 스틸로 구성된 객실을 보유하고 있습니다. 직각 흐름 개념 구조는 외부 공기를 소멸시켜 기판 가열 중 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 다단 히터는 급격한 온도 변화를 허용하고, 세라믹 단열은 에너지 보존을 향상시키고, 성능을 향상시킵니다. 다양한 전원 공급 장치는 이중 채널 자동 스위칭, 위상 제어 펄스 너비 변조 시스템으로 구성됩니다. 이렇게 하면 사용자가 애플리케이션에 가장 적합한 구성을 선택할 수 있습니다. 전력은 0.5kW에서 10kW 사이이며 온도 정확도는 ± 1 ° C입니다. 또한, 히터에는 여러 전원에 쉽게 연결할 수 있는 현장 전환 가능 전원 옵션이 있습니다. KOKUSAI DD-1223V 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 에는 가스 혼합 및 가스 흐름 속도를 수정할 수있는 가스 흐름 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 이를 통해 쉽고 안전한 운영을 보장할 수 있습니다. 안전 기능에는 챔버의 온도 변동에 신속하게 대응하는 과열 보호 시스템 (over-temperature protection system), 비상 정지 푸시 버튼 (emergency stop push button) 및 서미스터 열 보호 장치 (thermistor thermal protection device) 가 포함됩니다. 이 기구 는 또한 표본 운반 장치, 환기 "키트 ', 석영" 튜브' 와 같은 종합 한 "액세서리 '를 갖추고 있는데, 이것 은 특정 한 응용 프로그램 을 수행 하는 데 필요 하다. 또한, 이 확산 로에는 기판 용융을 모니터링하는 데 도움이되는 내장 데이터 로거가 있습니다. 기록 된 "데이터 '를 분석 하여 온도 와" 가스' 혼합물 을 최적화 하여 용광로 를 효과적 이고 효율적 인 실험 도구 로 만들 수 있다.
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