판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9190226
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ID: 9190226
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1Boat
Load lock: No
(25) Carrier slots
System control:
Main controller: CX3002C
Touch screen operation
Gas flow chart (Front, Rear)
Temperature controller: CQ1600
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Oxygen analyzer: No
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Process gas 1: N2
Process gas 2: N2
Process gas 3: O2
Process gas 4: O2
Process gas 5: H2
Process gas 6: Hcl
Process gas 7: N2
Process gas 8: N2
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
Regulator: AP Tech
MFC (Maker. Model): AERA
GAS Detector
Exhaust distribution system:
Air operated valve type
APC EPV-100
Baratron gauge
Main valve
Cold trap
Pump line
Wafer / Cassette handling:
Wafer alignment: No
(16) Cassette storage
Cassette in/out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
TC Type: No
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust System:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Maintenance zig: No
Operation manual: No
Electrical manual: No
Mechanical manual: No
Boat cap ass'y: No
Manifold ass'y
Cap base ass'y
Tube setting part ass'y
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
Currently warehoused
2001 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 반도체 및 태양 전지 제조, 박막 증착, 기타 공정 용광로 응용 프로그램 등 다양한 응용 분야에 사용될 수있는 다목적 확산 용광로 장비입니다. HITACHI DD-1223V는 절연 석영 튜브와 최대 용광로 온도 1,200 ° C를 특징으로합니다. 용광로는 수직 및 수평 구성으로 설치 할 수 있으며, 산소 및 질소 균형 수준을 조정하기위한 실내 가스 시스템 (in-chamber gas system) 을 포함합니다. KOKUSAI DD-1223V는 다양한 프로세스 요구 사항을 지원하도록 설계된 액세서리 세트와 함께 제공됩니다. 이러 한 "액세서리 '에는 오염 을 줄이기 위한 석영" 라이너 튜브', 배기 를 채취 하기 위한 수집판, 방주 를 방지 하기 위한 양극 고리, 기판 의 온도 조절 을 위한 도가니 "히터 '가 들어 있다. 또한, 용광로에는 가스 모니터링 장치, 가연성 가스 필터, 안전 차단 (safety-off) 및 온도가 사전 설정된 한계를 초과하면 자동 차단 (automatic shut-off) 과 같은 다양한 안전 기능이 포함됩니다. DD-1223V 는 손쉽게 터치스크린 인터페이스를 사용할 수 있으며, 다양한 프로세스에 대해 다양한 사전 프로그래밍된 레시피를 제공합니다. 퍼니스는 Windows 호환 PC를 통해 프로그래밍되며 네트워크 연결을 통해 원격으로 작동 할 수 있습니다. 또한, RS232 인터페이스는 외부 시스템에 연결하여 사용자가 추가 제어/모니터링 기능에 액세스할 수 있도록 합니다. HITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 내구성이 뛰어나고 안정적이며 에너지 효율적입니다. 용광로는 튼튼한 알루미늄으로 구성되며, 열손실을 줄이기 위해 이중 절연 석영 튜브 (dual-insulated quartz tube) 를 포함하고 있으며, 전체적으로 일관된 온도를 생성합니다. 이 용광로에는 또한 전원 및 제어 회로를 통해 냉각재를 순환시켜 안전한 작동 및 냉각 효율을 보장하는 수냉식 머신 (water-cooled machine) 이 포함되어 있습니다. HITACHI DD-1223V 확산 광로 (DD-1223V) 및 액세서리는 사용하기 쉽고, 다용도 도구로서, 컴팩트하고, 공간이 절약되며, 다양한 청소실 및 산업 어플리케이션에 적합합니다. 안정적인 운영, 광범위한 프로세스 제어 기능, 고급 안전 기능, 간편한 유지 관리 기능을 제공합니다. KOKUSAI DD-1223V는 직관적인 터치스크린 인터페이스, 종합적인 액세서리 패키지, 다양한 사전 프로그래밍 레시피 (레시피) 를 통해 모든 사용자에게 적합한 제품입니다.
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