판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9190226

ID: 9190226
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Furnace, 12" Process: Pyro (100) Process wafers Process type: Oxide Gas supply: Bottom PCW Supply: Bottom Boat operation: 1Boat Load lock: No (25) Carrier slots System control: Main controller: CX3002C Touch screen operation Gas flow chart (Front, Rear) Temperature controller: CQ1600 Pressure control: EPV100-AW Controller power: Ø1 208V 150A Heater power: Ø3 208V 350A Oxygen analyzer: No Tape heater controller: SR Mini Torch Process gases: Process gas 1: N2 Process gas 2: N2 Process gas 3: O2 Process gas 4: O2 Process gas 5: H2 Process gas 6: Hcl Process gas 7: N2 Process gas 8: N2 Gas distribution system: Basic style: FUJIKIN IGS Tubing material: SUS-316L Tubing finish: VCR Manual valve: FUJIKIN Air operated valve: FUJIKIN Regulator: AP Tech MFC (Maker. Model): AERA GAS Detector Exhaust distribution system: Air operated valve type APC EPV-100 Baratron gauge Main valve Cold trap Pump line Wafer / Cassette handling: Wafer alignment: No (16) Cassette storage Cassette in/out port Cassette handling robot Wafer transfer type: 1+4 Fork material: Ceramic (5) Forks Fork variable pitch Fork wafer presence sensor Elevator handling: Boat elevator Auto shutter Boat rotation Mechanical parts Heating chamber: D4EX16975-1 Heater TC Type: No Spike T/C Overtemp protect T/C Door interlock Exhaust System: Heater exhaust Gas box exhaust Process exhaust ETC: Handy terminal Maintenance zig: No Operation manual: No Electrical manual: No Mechanical manual: No Boat cap ass'y: No Manifold ass'y Cap base ass'y Tube setting part ass'y Missing parts: Scavenser EXH MS3 Sensor Torch TC Currently warehoused 2001 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 반도체 및 태양 전지 제조, 박막 증착, 기타 공정 용광로 응용 프로그램 등 다양한 응용 분야에 사용될 수있는 다목적 확산 용광로 장비입니다. HITACHI DD-1223V는 절연 석영 튜브와 최대 용광로 온도 1,200 ° C를 특징으로합니다. 용광로는 수직 및 수평 구성으로 설치 할 수 있으며, 산소 및 질소 균형 수준을 조정하기위한 실내 가스 시스템 (in-chamber gas system) 을 포함합니다. KOKUSAI DD-1223V는 다양한 프로세스 요구 사항을 지원하도록 설계된 액세서리 세트와 함께 제공됩니다. 이러 한 "액세서리 '에는 오염 을 줄이기 위한 석영" 라이너 튜브', 배기 를 채취 하기 위한 수집판, 방주 를 방지 하기 위한 양극 고리, 기판 의 온도 조절 을 위한 도가니 "히터 '가 들어 있다. 또한, 용광로에는 가스 모니터링 장치, 가연성 가스 필터, 안전 차단 (safety-off) 및 온도가 사전 설정된 한계를 초과하면 자동 차단 (automatic shut-off) 과 같은 다양한 안전 기능이 포함됩니다. DD-1223V 는 손쉽게 터치스크린 인터페이스를 사용할 수 있으며, 다양한 프로세스에 대해 다양한 사전 프로그래밍된 레시피를 제공합니다. 퍼니스는 Windows 호환 PC를 통해 프로그래밍되며 네트워크 연결을 통해 원격으로 작동 할 수 있습니다. 또한, RS232 인터페이스는 외부 시스템에 연결하여 사용자가 추가 제어/모니터링 기능에 액세스할 수 있도록 합니다. HITACHI/KOKUSAI DD-1223V는 내구성이 뛰어나고 안정적이며 에너지 효율적입니다. 용광로는 튼튼한 알루미늄으로 구성되며, 열손실을 줄이기 위해 이중 절연 석영 튜브 (dual-insulated quartz tube) 를 포함하고 있으며, 전체적으로 일관된 온도를 생성합니다. 이 용광로에는 또한 전원 및 제어 회로를 통해 냉각재를 순환시켜 안전한 작동 및 냉각 효율을 보장하는 수냉식 머신 (water-cooled machine) 이 포함되어 있습니다. HITACHI DD-1223V 확산 광로 (DD-1223V) 및 액세서리는 사용하기 쉽고, 다용도 도구로서, 컴팩트하고, 공간이 절약되며, 다양한 청소실 및 산업 어플리케이션에 적합합니다. 안정적인 운영, 광범위한 프로세스 제어 기능, 고급 안전 기능, 간편한 유지 관리 기능을 제공합니다. KOKUSAI DD-1223V는 직관적인 터치스크린 인터페이스, 종합적인 액세서리 패키지, 다양한 사전 프로그래밍 레시피 (레시피) 를 통해 모든 사용자에게 적합한 제품입니다.
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