판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DD-1206V #9377438

HITACHI/KOKUSAI DD-1206V 확산 용광로 및 액세서리는 확산, 사전 확산 및 어닐링 프로세스를 위한 자동화 및 고효율 솔루션을 제공합니다. 이 퍼니스는 5 개의 핫 존과 1 개의 후면 로딩 존 (rear-loading zone) 을 갖춘 계층형 웨이퍼 프로세싱과 4 개의 난방 균일성을 갖춘 4 개의 난방 카트리지 장비를 갖추고 있습니다. 5 단계 리프트 시스템을 사용하면 웨이퍼에 액세스 할 수 있으며 방열판 역할을합니다. HITACHI DD-1206V는 빠른 열 사이클링 및 프로세스 안정성을 지원하는 6 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 최대 1160 ° C의 온도와 최고 250 ° C/초의 빠른 냉각 속도 (rate cooling rate) 를 통해 거의 모든 어플리케이션에 최적의 성능을 제공할 수 있습니다. 또한 PID 폐쇄 루프 제어, 에지 기반 온도 제어 및 정확한 열 조절이 특징입니다. 용광로는 직관적 인 소프트웨어 인터페이스와 포함 된 HCC2 핫 플레이트 장치로 완전히 자동화되었습니다. 옵션 GAC (Gas Assist Controller) 는 KOKUSAI DD-1206V에 추가 된 귀중한 기능으로, 가스 흐름을 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 DD-1206V에는 다양한 액세서리가 포함되어 있어 편리성과 유용성이 향상되었습니다. 자동 웨이퍼 배송기는 효율적인 스위스 스타일의 웨이퍼 로딩 및 언로드에 이상적입니다. 구성 가능한 트롤리 머신을 사용하면 용광로 내에서 최대 10 개의 카세트를 빠르고 정확하게 이동할 수 있습니다. 또한 HITACHI/KOKUSAI DD-1206V를 사용하면 쉽게 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 내부 프로파일링은 통합 IR 열그래피 (옵션) 및 피로메트릭 옵토 센서와 함께 사용할 수 있으므로 프로세스 가시성과 제어가 향상됩니다. 로직 제어 (logic control) 및 레시피 (recipe) 관리 기능이 포함된 고급 소프트웨어 인터페이스를 사용하면 몇 번의 클릭으로 프로세스를 구성, 모니터링, 조정할 수 있습니다. 결국, HITACHI DD-1206V 확산 로와 액세서리는 광범위한 애플리케이션을 위한 효율적이고 효과적인 솔루션을 제공합니다. 고급 제어 기능, 자동 기능, 주변 장치 액세서리 등을 통해, 강력한 프로세스 제어, 안정성, 경제성을 제공합니다.