판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DC-8600S #293642889

HITACHI/KOKUSAI DC-8600S는 탁월한 균일성 및 온도 조절을 제공하도록 설계된 전문 확산 로입니다. 초고속 가스 흐름과 다양한 액세서리 (옵션) 를 갖춘 HITACHI DC-8600S는 정확하고 안정적인 기판 처리를 보장합니다. KOKUSAI DC-8600S는 모든 워크벤치의 설치 공간을 최소화하는 컴팩트한 디자인을 갖추고 있습니다. 확산 챔버에는 빠르고 쉽게 설치할 수있는 자체 설치 장치가 있습니다. 또한 DC-8600S의 통합 가스 공급 연결은 추가 가스 호스 및 조절기가 필요하지 않습니다. HITACHI/KOKUSAI DC-8600S의 초고속 가스 흐름 (최대 200 L/분) 은 확산 챔버 전체에 균일 한 온도 분포를 보장합니다. 또한 정교한 온도 조절 및 모니터링 기능, 지정된 하한과 상한 사이의 온도 유지, 0.1 ° C/Sec (0.1 ° C/Sec) 의 속도를 유지합니다. 자동 냉각 기능은 오염을 제어하고 안전한 제품 제거를 허용합니다. HITACHI DC-8600S는 응용 범위가 넓으며 금속 화, 열 산화, 산화 환원 과정과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. 내장형 모니터를 사용하면 온도 프로파일과 경고 (alarm) 를 실시간으로 볼 수 있으므로 빠르고 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 프로세스 자동화 및 온도 프로그래밍에도 적합하여 연속적이고 무인 작동이 가능합니다. KOKUSAI DC-8600S에는 컨트롤 박스, 진공 펌프, 로드 잠금 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 로드 잠금 (load lock) 은 기판을 빠르고 쉽게 로드하고 언로드하여 처리 시간을 최소화합니다. 진공 펌프는 -3 x 10-5 토르 (Torr) 의 압력으로 챔버에 가스를 공급하여 프로세스 매개 변수의 사용자 정의를 용이하게합니다. 전반적으로 DC-8600S는 뛰어난 기판 처리를 제공하기 위해 설계된 다재다능하고 신뢰할 수있는 확산 용광로입니다. HITACHI/KOKUSAI DC-8600S는 다양한 어플리케이션 범위, 다양한 액세서리 옵션 및 통합 모니터링 시스템을 통해 복잡한 기판 처리를 위한 최적의 선택입니다.