판매용 중고 HIKE DJ1223V CX3 #9262170

HIKE DJ1223V CX3 Diffusion Furnace는 고성능 프로세스 개발 및 생산 활동을 위해 설계된 완전 통합 수직 확산 로입니다. "디펜션 '공정 의 속도 와 정확도 를 높여주는 여러 가지 특징 이 갖추어져 있다. 용광로는 최대 효율성을 위해 여러 층의 금속판, 2 개의 개별 챔버 및 3 개의 독립적으로 작동하는 부하 잠금 장치 (load lock) 로 제작되었습니다. 용광로의 최상단 챔버 (drive chamber) 는 특허를받은 HIKE 드라이브 로드 장비를 갖춘 드라이브 챔버입니다. 구동봉 (drive rod system) 은 4 개의 막대로 구성되어 있으며, 용광로 챔버에 연결되어 확산 과정에서 사용되는 온도를 완전히 제어 할 수 있습니다. 이 드라이브 장치 (Drive Unit) 는 작동 중에 최적의 효율성을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 재료와 온도를 처리하기 쉽게 조정할 수 있습니다. DJ1223V CX3의 로드 잠금은 통합 PLC (programmable logic controller) 를 통해 작동합니다. 로드 락 (load lock) 에는 프로세스 챔버의 오염없이 용광로에서 웨이퍼 또는 기판을 삽입하고 제거하는 3 개의 분리 된 챔버가 있습니다. 3 개의 챔버 각각은 최대 6 "x 6" 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 확산 과정에서 높은 정확도 제어를 위해 개별적으로 프로그래밍 할 수 있습니다. 용광로의 바닥 챔버 (bottom chamber) 에는 저항성 가열 요소가 있으며, 이는 최대 온도가 1300 ° C인 용광로의 균일 한 가열을 유지합니다. 이 요소는 15 ~ 400 ° C의 공정 온도를 유지할 수 있으며, 모든 공정 단계에서 정확한 온도 조절이 가능합니다. 그런 다음, 가열된 공기는 정밀하고 반복 가능한 확산 과정을 위해 표면에 균일 한 온도를 제공하는 송풍기 팬 머신 (blower fan machine) 을 통해 용광로 챔버 전체에 순환됩니다. HIKE DJ1223V CX3 Diffusion Furnace는 프로세스 개발 및 운영 활동에 다양한 프로세스 사이클을 제공합니다. 또한 온도 조절을위한 크로멜-알루멜 열전대 (chromel-alumel thermocouple), 하중 잠금을 쉽게 볼 수있는 통합 쿼츠 할로겐 챔버 라이트 (integrated quartz halogen chamber light), 내장 웨이퍼 매핑 기능 등 프로세스 모니터링을 지원하는 여러 기능이 제공됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 DJ1223V CX3 는 견고하고 강력한 확산 로로, 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있습니다.