판매용 중고 HIKE DD-1223V CX3 #9262018

HIKE DD-1223V CX3
ID: 9262018
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
System, 12" 2004 vintage.
HIKE DD-1223V CX3은 집적 회로 처리, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), 반도체 패키징 등과 같은 애플리케이션을 위해 안정적이고 정밀한 온도 조절 기판을 제공하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 용광로는 히터 (heater) 와 온도 조절 회로 (temperature control circuit) 를 포함하는 금속 상자 (일반적으로 실험실 벤치 또는 선반에 장착) 로 구성됩니다. 용광로는 고압 석영 튜브 (quartz tube) 로 설계되어 확산 공정의 최대 온도 범위를 허용합니다. 석영 "튜브 '는 가열 된" 가스' 를 기판 위 로 인도 하여 균일 한 온도 분포 를 만드는 데 사용 된다. 또한 용광로의 온도 범위를 500 ° C ~ 1200 ° C로 조정할 수 있습니다. 퍼니스에는 여러 가지 고급 기능 (advanced features) 이 포함되어 있어 응용 프로그램을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 가열 요소는 교정 된 솔리드 스테이트 스위치로 구성되며, 이를 통해 정확한 온도 조절이 가능합니다. 또한 이 설계에는 안전한 온도 제어를 위한 직접 드라이브 전류 제한이 포함되어 있습니다. 또한, 히터 블록은 높은 효율성을 보장하기 위해 세라믹 절연 블록 (ceramic insulation block) 으로 설계되어 공정의 반복성을 높입니다. 또한, 용광로에는 강제 공기 냉각을 제공하는 팬 시스템 (fan system) 이 장착되어 안전하게 공정이 완료됩니다. 또한 DD-1223V CX3 는 임베디드 제어 시스템 (Embedded Control System) 으로 설계되어, 프로세스의 온도 및 가열 시간을 정확도로 관리할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 사용자는 setpoint, operation mode와 같은 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 용광로는 또한 온도를 모니터링하기위한 열전대 (over-temperature protection device) 와 열전대 (thermocouple) 를 포함하는 통합 안전 시스템으로 구성됩니다. 이 용광로는 설치와 사용이 간편하고, 탁월한 성능과 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 최대한의 안전성을 보장하기 위해 이 장치는 가열온도 (heating temper) 나 가스 흐름이 안전하지 않은 수준에 도달할 때 사용자에게 경고하는 표시등 (light indicator) 을 사용하여 설계되었습니다. 고급 기능과 견고한 구성으로 HIKE DD-1223V CX3 는 모든 확산 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.
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