판매용 중고 HIKE DD-1223V CX3 #9242114

HIKE DD-1223V CX3
ID: 9242114
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
System, 12" 2002 vintage.
HIKE DD-1223V CX3은 전자 장치용 반도체 기판 생산에 사용되는 확산 로입니다. 이것은 경제적이고 컴팩트한 퍼니스로, 산화물 및 유전체 응용에 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 퍼니스는 ISO 9001 인증 및 RoHS Directive Compliancy의 가장 높은 요구 사항을 충족하도록 설계 및 테스트되었습니다. 용광로는 알루미늄 하우징에 2 개의 수평 난로판이 포함 된 챔버로 구성됩니다. 판의 길이는 1 미터이며 3 개의 개별 섹션 (antechamber, 난방 구역 및 냉각 구역) 으로 나뉩니다. 앤테 챔버 (antechamber) 에는 작동 중 용광로 전체에 가열 된 공기를 순환시키는 데 도움이되는 주변 공기가 들어 있습니다. 이것은 균일 한 온도 분포와 균일 한 결정화 속도를 생성하는 데 도움이됩니다. 난방 구역은 antechamber와 냉각 구역 사이에 있습니다. 가열 영역 (heating zone) 에는 가변 속도 송풍기 (variable speed blower) 와 세라믹 히터 코어 (ceramic heater core) 의 조합을 사용하여 원하는 온도를 유지하는 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 이 구역은 열 처리 과정에서 뛰어난 온도 안정성 (+/- 0.5 ° C) 을 유지할 수 있지만 최대 1223 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 냉각대 는 용광로 의 마지막 부분 이며, 열교환기 (heat exchanger) 가 갖추어져 있어서, 용광로 의 고온 을 신속 히 낮추는 데 사용 된다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 처리 하지 못하게 되며, 원하는" 온도' 까지 최단 시간 내 에 냉각 된다. 오븐에는 과온 상황이 발생하지 않도록 설계된 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. 이것은 3 중 안전 인터 록크 포인트 (Safety Interlock Point) 를 통해, 용광로가 제조업체의 최대 세트 포인트보다 큰 온도에 도달하지 못하도록 합니다. 오븐에는 비상 사태의 경우 수동 컷오프 스위치도 있습니다. 용광로 (Furnace) 는 시중의 다른 모델에 비해 전력 소비가 적고 유지 보수가 저렴하므로 비용 효율성이 매우 높도록 설계되었습니다 (영문). 또한 모든 DD-1223V CX3 퍼니스는 개별적으로 테스트되어 ISO 9001 표준으로 보정됩니다. 전반적으로, HIKE DD-1223V CX3는 산화물 및 유전체 기판 생산을위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 탁월한 온도 조절 정확도, 균일성, 안전 기능을 경제적인 패키지로 제공합니다.
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