판매용 중고 HIKE DD-1223V CX3 #9235470

HIKE DD-1223V CX3
ID: 9235470
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Systems, 12" Process: Diffusion 2001 vintage.
HIKE DD-1223V CX3 는 물질의 지속적인 처리를 위해 설계된 강력하고 안정적인 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 이 3 구역 장비는 정확도가 높은 일관된 결과를 제공하도록 설계되어 챔버 내 가스 (gas) 와 온도 (temperature) 를 정확하게 제어하고 균일하게 분배할 수 있습니다. DD-1223V CX3 확산 로에는 정밀 온도 센서, 신뢰할 수 있는 컨트롤러 및 강력한 구성 요소 (예: 다중 위치 에어록 도어) 가 장착되어 있습니다. HIKE DD-1223V CX3 는 단일 zone direct, semi-batch 또는 batch diffuser 입니다. 이 시스템은 단일 존 (zone) 진공 밀폐 챔버를 사용하는데, 이는 도펀트 (dopant) 및 기타 공정 재료의 순차적 도입을 위해 여러 세그먼트로 나뉩니다. 세그먼트는 에어록 문으로 분리됩니다. 열은 챔버 전체에 균등하게 분포하며, 주기 시간은 프로세스 종에 맞게 조정 될 수 있습니다. 이 장치는 또한 반응 온도를 빠르고 안정적으로 제어하는 효율적인 냉각 장치 (cooling mechanism) 를 갖추고 있습니다. 또한 DD-1223V CX3 는 광범위한 프로세스 자료를 지원하도록 설계되었습니다. 내부 진공 소스와 가압 가스에 대한 액세스를 제공하는 입구 (inlet) 및 콘센트 (outlet) 포트가 있습니다. 이 기계는 또한 반응물을 제어하는 방식으로 도입 할 수있는 포트 (Port) 를 갖추고 있습니다. 이 포트는 이중 입력 질량 흐름 컨트롤러를 사용하도록 특별히 설계되었습니다. HIKE DD-1223V CX3 (HIKE DD-1223V CX3) 는 또한 디지털 프로세스 컨트롤러를 제공하여 편리한 콘솔에서 확산 프로세스 (확산 프로세스) 와 용광로 (용광로 조건) 를 구성하고 모니터링할 수 있습니다. DD-1223V CX3 는 자동 샘플 로딩 스테이션과 같은 여러 가지 고급 액세서리 (예: 대규모 샘플 처리 트레이) 에서 추가로 지원됩니다. 정확 한 석영 "튜브 '열전대 는 특수 난방 원소 와 더불어" 챔버' 전체 의 일관성 있는 온도 를 보장 해 준다. 진공창의 반사 방지 코팅 (Anti-reflection coating) 은 KF형 피팅, 다양한 옵션 컴포넌트와 함께 가장 어려운 프로세스를 지원할 수 있는 유연성을 제공합니다. 전반적으로, HIKE DD-1223V CX3은 재료의 지속적인 처리를 위해 특별히 설계된 강력한 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 다양한 공정 소재 (Process Materials) 로 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었으며, 이 도구는 정밀 온도 센서, 신뢰할 수 있는 컨트롤러, 내구성 있는 구성 요소를 갖추고 있어 지속적으로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. DD-1223V CX3 는 자동화된 샘플 로딩 (sample loading) 및 대규모 샘플 처리 트레이와 같은 고급 액세서리를 제공하여 쉽고 편리한 워크플로를 제공합니다.
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