판매용 중고 GT SOLAR 513349 #9236075

GT SOLAR 513349는 확산 로로, 집적 회로 장치 생산에 사용되는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 로의 도펀트 재료 확산을 정확하게 제어하기 위해 제작되었습니다. 이 2 세대 퍼니스 (Furnace) 에는 여러 웨이퍼에서 도판의 증착을 동시에 정확하게 제어하기위한 넓은 작업 영역이 포함되어 있으며, 프로세스를 세밀하게 조정할 수있는 여러 사용자 정의 설정이 있습니다. 가열 요소는 기판 전체에 걸쳐 일관된 균일성을 보장하기 위해 교정되며, 불활성 환경 (inert environment) 과 제어 대기 (controlled atmosphere) 를 통해 최고 수준의 품질을 유지합니다. 퍼니스 (Furnace) 는 사용자 친화적 인 인터페이스로 제어되며, 온도 범위는 최대 1500 ° C이며, 정확한 열 제어 및 온도 관리가 가능합니다. Furnace 는 최첨단 구성요소로 만들어졌으며, 고급 진단 기능을 통해 사용자가 문제를 빠르고 쉽게 진단할 수 있으며, 다운타임을 최소화하고, 생산성을 극대화할 수 있습니다. 또한 사용자 및 구성 요소를 과열, 압력 및 기타 잠재적 위험으로부터 보호하는 자동 안전 (automatic safety) 기능이 포함되어 있습니다. 이 용광로는 잠재적으로 위험한 증기를 제거하는 배기 후드 (exhaust hood), 저압 처리를위한 진공 펌프 (vacuum pump) 또는 주입 가능한 도펀트를 정확하게 모니터링하기위한 가스/화학 전달 시스템 (gas/chemical delivery system) 과 같은 다양한 액세서리에 연결되도록 설계되었습니다. 추가 옵션 (예: 보다 정확한 제어를 위한 PLC (programmable logic controller)) 을 추가하여 특정 처리 요구 사항에 맞게 구성을 사용자 정의할 수 있습니다. 513349는 생산과 연구 목적을 요구하는 다용도, 신뢰성, 경제적 확산 로입니다. 그 견고한 구조 (Struction) 와 고급 피처 세트 (Feature-set) 는 다양한 반도체 제조 작업에 이상적이며, 앞으로 몇 년 동안 생산 공정의 필수 부분이 될 것입니다.