판매용 중고 GT SOLAR 513349 #9236074

GT SOLAR 513349는 반도체 막을 형성하고, 웨이퍼를 결합하고, 금속화 층을 만드는 데 사용되는 확산 로와 관련 액세서리 제품군입니다. GT SOLAR 51334x 확산 시리즈의 일련의 최신 제품으로서, 513349는 이전 모델과 비교하여 개선 된 기능 세트를 제공합니다. GT SOLAR 513349는 2,500mm2 이하의 작업 영역, 최대 기판 크기 125mm (125mm) 를 제공하여 추가 비품 없이 대규모 프로세스를 실행할 수 있습니다. 최대 1150 ° C, 513349의 온도 지원은 PECVD, PVD, ALD 및 기타 고급 기술이 가능합니다. 용광로 는 질소, "아르곤 ', 수소, 또는" 헬륨' 대기와 함께 사용 될 수 있다. 에너지/산화물 비율은 500: 1에서 2500: 1로 5 씩 조정되어 셀 수준 변조를 완전히 제어할 수 있습니다. 최대 5 개의 외부 RF 소스를 사용할 수 있도록 10 개의 다른 전력 분배를 설정할 수 있습니다. GT SOLAR 513349에는 ISO 클래스 5 클린 룸 (Clean Room) 이 있어 프로세스 영역이 외부 오염 물질로부터 자유롭게 유지됩니다. 1 x 10-6 mbar 해상도의 1 mT의 통합 2 차 진공과 25 ° C ~ 200 ° C의 조절 가능한 베이스 플레이트 온도도 있습니다. 안전 강화 측면에서, 513349는 검사 창을 통한 전원 차단, 용광로 중단, 온도 제한기, 열 충격 보호 등 여러 긴급 차단 시스템을 제공합니다. 이 모델에는 손쉬운 청소 및 유지 보수를위한 2.5cm 두께의 알루미나 플레이트 (Alumina plate) 와 질소 및 아르곤 용 개별 가스 입구, 콘센트 및 저수지가있는 가스 카세트 (gas cassette) 가 포함되어 있습니다. 전체적으로, GT SOLAR 513349는 다양한 반도체 및 금속화 계층에 걸쳐 업계 등급 프로세스를 위해 설계된 다목적 전문 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 신빙성 있고 정확 한 것 이 증명 된 것 이 아니라, 안전 대책 을 제공 하여, 많은 "프로 '를 처리 하는 것 이 바람직 한 선택 이다.