판매용 중고 GT SOLAR 513349 #9236055

GT SOLAR 513349는 고품질, 신뢰할 수있는 결정 실리콘 솔라 웨이퍼 생산을위한 기능을 제공하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 제품은 내부 챔버 (internal chamber) 와 외부 챔버 (external chamber) 로 구성되며 외부 챔버는 배기 장비, 저압 물 매니 폴드 및 조절 가능한 릴리프 밸브로 구성됩니다. 또한 실리콘 기질로 인, 붕소 및 기타 물질을 확산시키기 위해 2 개의 유도 코일 (induction coil) 이 특징입니다. 확산 로는 밀봉 챔버 (sealed-chamber) 및 수냉식 장치 (water cooling unit) 와 결합 된 유도 가열 시스템을 사용하여 정확한 온도 및 대기 제어를 제공합니다. 유도 가열기는 실리콘 확산에 대한 최대 온도 1670 ° C (3038 ° F) 를 제공 할 수 있으며, 터치스크린 디스플레이와 함께 컴퓨터 인터페이스 PLC/제어 장치에 의해 제어됩니다. 용광로는 10-2 mbar의 진공에서 작동하며 DEOS 도구로 질소, 아르곤 및 산소의 가스 혼합물을 특징으로합니다. 이것은 확산 중 산화를 방지합니다. 용광로 에는 실내부 에서 희귀성 "가스 '를" 펌프' 하고 낮은 수준 의 배경 산소 를 유지 할 수 있는 횡경막 "펌프 '가 들어 있다. 열역학 모델에서 계산 된 실리콘 증기 압력 (silicon vapor pressure) 은 확산 중 온도를 정확하게 예측하는 데 사용됩니다. 이 제품은 또한 부싱 (bushing) 형 가스 피드 에셋을 특징으로하며, 확산 챔버 전체에 붕소, 인 및 기타 재료를 주입합니다. 재료는 정밀 측정 시스템을 사용하여 측정됩니다. 이 제품에는 180mm 직경의 란타넘 규산염 보트가 있으며, 이는 전기-기계 포지셔닝 모델에 의해 제어됩니다. 안전성을 위해, 이 제품에는 비상 정지 장비와 다양한 안전 밸브 (Safety Valv) 및 챔버 과압 방지를 방지하는 구호 밸브 (Relief Valv) 도 포함되어 있습니다. 외부 및 내부 챔버 벽은 고급 304 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 5면 피라미드 상단 덮개는 적절한 양의 균일 한 가열과 최대 효율을 보장합니다. 이 제품은 고품질, 신뢰성 있는 실리콘 솔라 웨이퍼를 생산하기 위한 탁월한 선택입니다. 부싱 (bushing) 형 가스 공급 시스템과 결합된 확산 로의 정밀도 (precision) 와 정밀도 (accuracy) 의 조합은 태양광 웨이퍼 생산을위한 온도와 정확한 재료 입력을 정확하게 제어합니다. 이 제품은 안전 규정 (Safety Regulation) 을 준수하며 효율성이 높아 광범위한 솔라 웨이퍼 (Solar Wafer) 의 생산에 적합합니다.