판매용 중고 GT SOLAR 1001057 #9236070

GT SOLAR 1001057은 반도체 제작 프로세스에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 최대 1100 ° C의 환경 온도와 반도체 웨이퍼의 에칭, 증착, 제작을위한 최고의 환경을 제공하는 1.3x10-6 토르 (Torr) 의 압력을 달성 할 수있는 높은 진공 확산 로입니다. 이 확산 용광로는 용광로, 챔버 및 액세서리의 세 부분으로 구성됩니다. "퍼니스 '는 장치 의 본체 이며" 가스' 공급 및 진공 "시스템 '을 포함 하여 확산 용광로 실 내부 의 환경 상태 를 정확 히 제어 할 수 있다. 약실 은 "웨이퍼 '를 처리 하고, 가열 요소 로 가열 하여 필요 한 온도 를 달성 하는 인클로저 이다. 액세서리에는 처리 중인 웨이퍼를 처리하기위한 특수 도구 (예: 웨이퍼를 고정하기위한 받침대, 웨이퍼를 고정하기위한 리프터 (lifter) 또는 클램프 (clamp), 용광로에 연결하기위한 어댑터) 가 포함됩니다. 확산 용광로 는 "웨이퍼 '와 용광로 의 손상 을 방지 하기 위한 여러 가지 안전 기능 을 갖추고 있다. 그것 은 "쿼츠 '창 으로" 챔버' 내부 의 공정 을 시각적 으로 검사 할 수 있도록 하고 위험 한 물질 을 내어 놓을 필요 가 없다. 또한 온도와/또는 압력 수준이 세트 임계값을 초과하면 용광로를 끄는 자동 차단 시스템 (automatic shutoff system) 이 있습니다. 이 확산 용광로의 추가 기능은 환경 친화적 인 디자인입니다. 약실 은 고온 에서도 저하 되지 않는 "스테인레스 '강 으로 되어 있다. 이는 용광로에서 생산되는 배출량을 줄이고 주변 환경을 깨끗하고 안전하게 유지하는 데 도움이 됩니다 (영문). 1001057 확산로 (diffusion furnace) 는 동급 최고 중 하나이며, 정밀 제어 환경 온도 및 압력 수준을 제공하여 반도체 웨이퍼의 정확한 성장과 에칭을 달성합니다. 고급 기능 및 안전 프로토콜은 통합 회로 생산 프로세스에 적합합니다.