판매용 중고 GT SOLAR 1001057 #9236068

GT SOLAR 1001057 (GT SOLAR 1001057) 은 GT SOLAR 확산 시스템 제품군의 확산 로와 액세서리로, 다양한 기판에 가장 높은 품질의 열 처리를 제공합니다. 이 신뢰성 있고, 효율적이며, 비용 효율적인 확산 솔루션은 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 업계에서 사용되는 박막 (Thin Film) 장치의 제작과 같은 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 1001057에는 견고한 듀얼 모드 전원 공급 장치, 고온 제어 모듈, 효율적인 가스 공급 시스템이 함께 제공됩니다. 이 장치에는 확산 챔버, 터보 펌프 장비 및 통합 열 이미징 패키지 (옵션) 가 있습니다. 또한 RF 및 광학 제어 기능뿐만 아니라 진공 센서가 장착되어 있습니다. 이 확산 시스템은 기체 유량 (gas flow rate) 과 압력 (pressure rate) 으로 작동하면서 최고 1000 ° C의 온도 과정을 높은 정밀도와 반복성으로 제공 할 수 있습니다. 통합 고온 제어 모듈은 우수한 공정 제어 (process control) 를 제공하도록 설계되어 수동 유체 역학적 (hydrodynamic) 및 유체 역학적 압력 모드 사이를 전환 할 수 있습니다. 핫존 (hotzone), 고감도 온도 센서, 적외선 열 (infrared thermopile) 이 장치에 포함되어 정확한 프로세스 모니터링 및 제어가 가능합니다. 이 기계는 polysilicon, gallium arsenide, indium phosphide 및 silicon carbide와 같은 모든 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. GT SOLAR 1001057은 200mm (8 인치) 의 기판을 처리 할 수 있으며 1350 ° C의 높은 온도 한계를 갖습니다. 이 도구에는 프로그래밍 가능한 매개변수, 히스토리 레시피 관리, 열 이미징 등 다양한 고급 기능이 있습니다. RF 난방 자산 (heating asset) 은 불균일성의 위험을 최소화하며 통합 오염 제어 모델은 일관되고 효율적인 운영을 보장합니다. 또한 챔버 클리너 (Chamber Cleaner) 기능은 챔버 라이너 (chamber liner), 덮개 (lid) 및 게이트 밸브를 깨끗하게 유지하고 장비가 사용되는 동안 화학 반응이 없도록 포함합니다. 즉, 이 시스템은 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계되어 자동화된 운영 라인 (production line) 또는 수동 (manual operation) 을 위한 완벽한 선택입니다. 1001057 확산 용광로 및 액세서리는 모든 생산 라인에서 안정적이고 효율적인 선택입니다. 다용도 작업 (versatile operation) 을 통해 사용자는 다양한 기판을 처리할 수 있으며, 우월하고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 고온 프로세스 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 견고한 구성으로, 이 장치를 모든 어플리케이션에 이상적인 옵션으로 만들 수 있습니다.